擴散爐廢氣如何排掉

【專家解說】：擴散爐概述： 擴散爐是太陽能電池片形成P-N結的“心臟”，因此擴散爐的質(zhì)量影響到電池片的電性能?，F(xiàn)在太陽能廠家流行的的擴散方式有開管擴散、閉管擴散、軟著陸擴散，開管擴散的產(chǎn)量比較低，偏磷酸的用量比較大；閉管擴散工藝過程完全不受外界環(huán)境干擾；軟著陸擴散是根據(jù)現(xiàn)有6-8英寸集成電路擴散設備，而提出的新概念；軟著陸擴散工藝質(zhì)量完全受控；工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放；更加安環(huán)保。 排氣腔一端與擴散爐本體內(nèi)腔連通，另一端與廢氣管相連通，廢氣管與排氣腔連通的一端與隔熱包呈插拔配合，且廢氣管位于擴散爐內(nèi)腔的部分上設置有廢氣孔。隔熱包頂端開設的透氣孔可收集擴散爐內(nèi)產(chǎn)生的廢氣和凝集在隔熱包上的廢液，并使廢氣和廢液通過排氣腔進入廢氣管后排出擴散爐，廢氣管上的廢氣孔能將位于低處的廢氣和產(chǎn)生于低處的費用通過廢氣管排出擴散爐，整體提高擴散爐的工作效率。 主要技術指標： 方式、數(shù)量：左手操作（或右手操作） 硅片尺寸及管路數(shù)：156×156方片、125X125方片、三管系統(tǒng)（或四管） 裝片數(shù)量： 300-400片/每管 凈化臺潔凈度：100級（10000級廠房） 自動化程度：自動控制溫度及工藝過程。 送取片方式：懸臂式推拉舟和軟著陸式推拉舟 采用SPIKE/PROFILE熱偶自動切換控溫 工作溫度： 800~1200℃ 溫區(qū)精度及長度(靜態(tài)閉管測試)： 800℃＜工作溫度＜1200℃： 1080mm /≤±1℃ 400℃≤工作溫度≤800℃： 1080mm /≤±2℃ 單點溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測試)： ≤±1℃/12h（880℃時） 送料裝置技術參數(shù)： 速度 100~500mm/min 定位精度： ≤±2mm SiC漿承載能力： ≥15Kg 型式： 手工裝片，高純碳化硅漿 加速控制特性： 軟啟動/停止 外形尺寸范圍：(單位mm)（長×寬×高） ~6700×1400×2900 控制系統(tǒng)： 設備采用進口智能控制器,對爐溫、閥門進行自動控制,用一臺工控機作人機界面管理、儲存全部工藝時序。每個爐管有一套獨立PLC和觸摸屏的控制系統(tǒng)。系統(tǒng)采用雙保險設計，PLC加工控機。以PLC為主控單元。保證了工藝的順利完成。即使工藝過程中工控機突然死機，工藝過程仍可通過PLC的控制安全的執(zhí)行下去. 全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡便。 采用目前最先進的進口溫控單元，使設備控溫更精確。 可保存多條工藝曲線，每條曲線可設置多步。 工藝曲線的自動運行控制功能。 自動運行中可暫停/繼續(xù)運行功能。 工藝中可強制跳到下一工藝步運行功能。 智能升降溫斜率控制功能。 PID參數(shù)自整定功能。 可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運行調(diào)用功能。 系統(tǒng)故障的檢測與報警功能。 系統(tǒng)誤差修正（單點或多點動態(tài)修正功能）。 智能懸臂推拉舟控制功能。 工藝氣體的程序控制功能（氣動閥/質(zhì)量流量控制器）。 停電后斷點繼續(xù)運行功能。 計算機的工藝運行窗口設有密碼，只有工藝人員或相關管理人員才能修改或調(diào)出工藝參數(shù),可防止工藝泄密及操作員工誤運行工藝。 氣路系統(tǒng)： 整臺氣路系統(tǒng)包括進口質(zhì)量流量控制器，優(yōu)質(zhì)浮子流量計、接頭、過濾器、壓力表，管道部分采用耐蝕不銹鋼管件。源瓶超壓自動泄壓保護功能，杜絕爆瓶現(xiàn)象的發(fā)生。氣體流量由進口質(zhì)量流量計控制，流量的設定在計算機上進行，其設定值和檢測值均可在顯示器上實時顯示。設備整個氣路系統(tǒng)均采用進口產(chǎn)品，保證設備運行的穩(wěn)定性。擴散源的溫度可采用國產(chǎn)恒溫控制器控制，控溫精度≤±0.5℃。 安全保護與報警： 為了保證設備的安全運行和快速診斷設備故障，設備應具有多種安全聯(lián)鎖裝置和故障報警功能。 超溫保護： 當爐溫超過設定值時，屏幕會顯示超溫，此時超溫報警、訊響、通知操作人員及時處理。當同一個測溫點得2個儀表讀數(shù)相差2℃以上時也發(fā)出報警。 極限超溫報警： 當爐溫由于故障超過報警設定值繼續(xù)升高，達到極限爐溫時，超溫的加熱器會自動斷電。。 斷偶保護： 當控制熱偶或報警熱偶，斷開或接觸不良時，此時會有超溫報警或極限超溫報警狀態(tài)發(fā)生。通知操作人員及時排除故障。 極限保護： 在導軌的前后限位開關處還加有極限保護開關，一旦限位開關失效，極限開關即可停止電機運轉(zhuǎn)。 手動急停： 自動進出舟過程中，萬一出現(xiàn)限位開關和極限開關均失效的緊急情況，可立即按下急停按鈕，舟的運行即刻停止，可避免損壞石英器件及工藝片。