請教多晶硅與單晶硅的基礎(chǔ)知識及生產(chǎn)工藝
來源:新能源網(wǎng)
時間:2024-08-17 08:50:16
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請教多晶硅與單晶硅的基礎(chǔ)知識及生產(chǎn)工藝【專家解說】:單晶硅和多晶硅的區(qū)別是,當(dāng)熔融的單質(zhì)硅凝固時,硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒,則形成單晶硅
【專家解說】:單晶硅和多晶硅的區(qū)別是,當(dāng)熔融的單質(zhì)硅凝固時,硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒,則形成單晶硅。如果這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則形成多晶硅。多晶硅與單晶硅的差異主要表現(xiàn)在物理性質(zhì)方面。例如在力學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)等方面,多晶硅均不如單晶硅。多晶硅可作為拉制單晶硅的原料。單晶硅可算得上是世界上最純凈的物質(zhì)了,一般的半導(dǎo)體器件要求硅的純度六個9以上。大規(guī)模集成電路的要求更高,硅的純度必須達(dá)到九個9。目前,人們已經(jīng)能制造出純度為十二個9 的單晶硅。單晶硅是電子計算機、自動控制系統(tǒng)等現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的基本材料。
多晶硅的生產(chǎn)工藝主要由高純石英(經(jīng)高溫焦碳還原)→工業(yè)硅(酸洗)→硅粉(加HCL)→SiHCL3(經(jīng)過粗餾精餾)→高純SiHCL3(和H2反應(yīng)CVD工藝)→高純多晶硅
國內(nèi)的多晶硅單價主要看純度,純度在9個9的很少,價格應(yīng)該在2500以上了!詳細(xì)價格不定,
單晶硅生產(chǎn)工藝主要有兩種,一種是直拉法,一種是區(qū)熔法。工藝的介紹也可以在網(wǎng)上找得到。
單晶硅片的單價是論片算,不會按噸算的,這里還要區(qū)分是太陽能級還是IC級,這里我只知道關(guān)于6寸太陽能級硅片,每片價格在53元左右
單晶硅的制造方法和設(shè)備
1、一種單晶硅壓力傳感器制造方法及其結(jié)構(gòu)
2、單晶硅生產(chǎn)裝置
3、制造單晶硅的設(shè)備
4、單晶硅直徑測定法及其設(shè)備
5、單晶硅直徑控制法及其設(shè)備
【單晶硅】
英文名: Monocrystalline silicon
分子式: Si
硅的單晶體。具有基本完整的點陣結(jié)構(gòu)的晶體。不同的方向具有不同的性質(zhì),是一種良好的半導(dǎo)材料。純度要求達(dá)到99.9999%,甚至達(dá)到99.9999999%以上。用于制造半導(dǎo)體器件、太陽能電池等。用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成。
熔融的單質(zhì)硅在凝固時硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒,則這些晶粒平行結(jié)合起來便結(jié)晶成單晶硅。單晶硅具有準(zhǔn)金屬的物理性質(zhì),有較弱的導(dǎo)電性,其電導(dǎo)率隨溫度的升高而增加,有顯著的半導(dǎo)電性。超純的單晶硅是本征半導(dǎo)體。在超純單晶硅中摻入微量的ⅢA族元素,如硼可提高其導(dǎo)電的程度,而形成p型硅半導(dǎo)體;如摻入微量的ⅤA族元素,如磷或砷也可提高導(dǎo)電程度,形成n型硅半導(dǎo)體。單晶硅的制法通常是先制得多晶硅或無定形硅,然后用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長出棒狀單晶硅。單晶硅主要用于制作半導(dǎo)體元件。
用途: 是制造半導(dǎo)體硅器件的原料,用于制大功率整流器、大功率晶體管、二極管、開關(guān)器件等
單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素,是晶體材料的重要組成部分,處于新材料發(fā)展的前沿。其主要用途是用作半導(dǎo)體材料和利用太陽能光伏發(fā)電、供熱等。由于太陽能具有清潔、環(huán)保、方便等諸多優(yōu)勢,近三十年來,太陽能利用技術(shù)在研究開發(fā)、商業(yè)化生產(chǎn)、市場開拓方面都獲得了長足發(fā)展,成為世界快速、穩(wěn)定發(fā)展的新興產(chǎn)業(yè)之一。
單晶硅建設(shè)項目具有巨大的市場和廣闊的發(fā)展空間。在地殼中含量達(dá)25.8%的硅元素,為單晶硅的生產(chǎn)提供了取之不盡的源泉。
近年來,各種晶體材料,特別是以單晶硅為代表的高科技附加值材料及其相關(guān)高技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,成為當(dāng)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的支柱,并使信息產(chǎn)業(yè)成為全球經(jīng)濟發(fā)展中增長最快的先導(dǎo)產(chǎn)業(yè)。單晶硅作為一種極具潛能,亟待開發(fā)利用的高科技資源,正引起越來越多的關(guān)注和重視。
【多晶硅】
polycrystalline silicon
性質(zhì):灰色金屬光澤。密度2.32~2.34。熔點1410℃。沸點2355℃。溶于氫氟酸和硝酸的混酸中,不溶于水、硝酸和鹽酸。硬度介于鍺和石英之間,室溫下質(zhì)脆,切割時易碎裂。加熱至800℃以上即有延性,1300℃時顯出明顯變形。常溫下不活潑,高溫下與氧、氮、硫等反應(yīng)。高溫熔融狀態(tài)下,具有較大的化學(xué)活潑性,能與幾乎任何材料作用。具有半導(dǎo)體性質(zhì),是極為重要的優(yōu)良半導(dǎo)體材料,但微量的雜質(zhì)即可大大影響其導(dǎo)電性。電子工業(yè)中廣泛用于制造半導(dǎo)體收音機、錄音機、電冰箱、彩電、錄像機、電子計算機等的基礎(chǔ)材料。由干燥硅粉與干燥氯化氫氣體在一定條件下氯化,再經(jīng)冷凝、精餾、還原而得。
多晶硅是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時,硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結(jié)合起來,就結(jié)晶成多晶硅。多晶硅可作拉制單晶硅的原料,多晶硅與單晶硅的差異主要表現(xiàn)在物理性質(zhì)方面。例如,在力學(xué)性質(zhì)、光學(xué)性質(zhì)和熱學(xué)性質(zhì)的各向異性方面,遠(yuǎn)不如單晶硅明顯;在電學(xué)性質(zhì)方面,多晶硅晶體的導(dǎo)電性也遠(yuǎn)不如單晶硅顯著,甚至于幾乎沒有導(dǎo)電性。在化學(xué)活性方面,兩者的差異極小。多晶硅和單晶硅可從外觀上加以區(qū)別,但真正的鑒別須通過分析測定晶體的晶面方向、導(dǎo)電類型和電阻率等。
一、國際多晶硅產(chǎn)業(yè)概況
當(dāng)前,晶體硅材料(包括多晶硅和單晶硅)是最主要的光伏材料,其市場占有率在90%以上,而且在今后相當(dāng)長的一段時期也依然是太陽能電池的主流材料。多晶硅材料的生產(chǎn)技術(shù)長期以來掌握在美、日、德等3個國家7個公司的10家工廠手中,形成技術(shù)封鎖、市場壟斷的狀況。
多晶硅的需求主要來自于半導(dǎo)體和太陽能電池。按純度要求不同,分為電子級和太陽能級。其中,用于電子級多晶硅占55%左右,太陽能級多晶硅占45%,隨著光伏產(chǎn)業(yè)的迅猛發(fā)展,太陽能電池對多晶硅需求量的增長速度高于半導(dǎo)體多晶硅的發(fā)展,預(yù)計到2008年太陽能多晶硅的需求量將超過電子級多晶硅。
1994年全世界太陽能電池的總產(chǎn)量只有69MW,而2004年就接近1200MW,在短短的10年里就增長了17倍。專家預(yù)測太陽能光伏產(chǎn)業(yè)在二十一世紀(jì)前半期將超過核電成為最重要的基礎(chǔ)能源之一。
據(jù)悉,美國能源部計劃到2010年累計安裝容量4600MW,日本計劃2010年達(dá)到5000MW,歐盟計劃達(dá)到6900MW,預(yù)計2010年世界累計安裝量至少18000MW。從上述的推測分析,至2010年太陽能電池用多晶硅至少在30000噸以上,表2給出了世界太陽能多晶硅工序的預(yù)測。據(jù)國外資料分析報道,世界多晶硅的產(chǎn)量2005年為28750噸,其中半導(dǎo)體級為20250噸,太陽能級為8500噸,半導(dǎo)體級需求量約為19000噸,略有過剩;太陽能級的需求量為15000噸,供不應(yīng)求,從2006年開始太陽能級和半導(dǎo)體級多晶硅需求的均有缺口,其中太陽能級產(chǎn)能缺口更大。
據(jù)日本稀有金屬雜質(zhì)2005年11月24日報道,世界半導(dǎo)體與太陽能多晶硅需求緊張,主要是由于以歐洲為中心的太陽能市場迅速擴大,預(yù)計2006年,2007年多晶硅供應(yīng)不平衡的局面將為愈演愈烈,多晶硅價格方面半導(dǎo)體級與太陽能級原有的差別將逐步減小甚至消除,2005年世界太陽能電池產(chǎn)量約1GW,如果以1MW用多晶硅12噸計算,共需多晶硅是1.2萬噸,2005-2010年世界太陽能電池平均年增長率在25%,到2010年全世界半導(dǎo)體用于太陽能電池用多晶硅的年總的需求量將超過6.3萬噸。
世界多晶硅主要生產(chǎn)企業(yè)有日本的Tokuyama、三菱、住友公司、美國的Hemlock、Asimi、SGS、MEMC公司,德國的Wacker公司等,其年產(chǎn)能絕大部分在1000噸以上,其中Tokuyama、Hemlock、Wacker三個公司生產(chǎn)規(guī)模最大,年生產(chǎn)能力均在3000-5000噸。
國際多晶硅主要技術(shù)特征有以下兩點:
(1)多種生產(chǎn)工藝路線并存,產(chǎn)業(yè)化技術(shù)封鎖、壟斷局面不會改變。由于各多晶硅生產(chǎn)工廠所用主輔原料不盡相同,因此生產(chǎn)工藝技術(shù)不同;進(jìn)而對應(yīng)的多晶硅產(chǎn)品技術(shù)經(jīng)濟指標(biāo)、產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)、用途、產(chǎn)品檢測方法、過程安全等方面也存在差異,各有技術(shù)特點和技術(shù)秘密,總的來說,目前國際上多晶硅生產(chǎn)主要的傳統(tǒng)工藝有:改良西門子法、硅烷法和流化床法。其中改良西門子工藝生產(chǎn)的多晶硅的產(chǎn)能約占世界總產(chǎn)能的80%,短期內(nèi)產(chǎn)業(yè)化技術(shù)壟斷封鎖的局面不會改變。
(2)新一代低成本多晶硅工藝技術(shù)研究空前活躍。除了傳統(tǒng)工藝(電子級和太陽能級兼容)及技術(shù)升級外,還涌現(xiàn)出了幾種專門生產(chǎn)太陽能級多晶硅的新工藝技術(shù),主要有:改良西門子法的低價格工藝;冶金法從金屬硅中提取高純度硅;高純度SiO2直接制??;熔融析出法(VLD:Vaper to liquid deposition);還原或熱分解工藝;無氯工藝技術(shù),Al-Si溶體低溫制備太陽能級硅;熔鹽電解法等。
二、國內(nèi)多晶硅產(chǎn)業(yè)概況
我國集成電路的增長,硅片生產(chǎn)和太陽能電池產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,大大帶動多晶硅材料的增長。
太陽能電池用多晶硅按每生產(chǎn)1MW多晶硅太陽能電池需要11-12噸多晶硅計算,我國2004年多晶、單晶太陽能電池產(chǎn)量為48.45MW,多晶硅用量為678噸左右,而實際產(chǎn)能已達(dá)70MW左右,多晶硅缺口達(dá)250噸以上。到2005年底國內(nèi)太陽能電池產(chǎn)能達(dá)到300MW,實際能形成的產(chǎn)量約為110MW,需要多晶硅1400噸左右,預(yù)測到2010年太陽能電池產(chǎn)量達(dá)300MW,需要多晶硅保守估計約4200噸,因此太陽能電池的生產(chǎn)將大大帶動多晶硅需求的增加,見表3。
2005年中國太陽能電池用單晶硅企業(yè)開工率在20%-30%,半導(dǎo)體用單晶硅企業(yè)開工率在80%-90%,都不能滿負(fù)荷生產(chǎn),主要原因是多晶硅供給量不足所造成的。預(yù)計多晶硅生產(chǎn)企業(yè)擴產(chǎn)后的產(chǎn)量,仍然滿足不了快速增長的需要。
2005年全球太陽能電池用多晶硅供應(yīng)量約為10448噸,而2005年太陽能用硅材料需求量約為22881噸,如果太陽能電池用多晶硅需求量按占總需求量的65%計,則太陽能電池用多晶硅需求量約為14873噸,這樣全球太陽能電池用多晶硅的市場缺口達(dá)4424噸。2005年半導(dǎo)體用多晶硅短缺6000噸,加上太陽能用多晶硅缺口4424噸,合計10424噸,供給嚴(yán)重不足,導(dǎo)致全球多晶硅價格上漲。目前多晶硅市場的持續(xù)升溫,導(dǎo)致各生產(chǎn)廠商紛紛列出了擴產(chǎn)計劃,根據(jù)來自國際光伏組織的統(tǒng)計,至2008年全球多晶硅的產(chǎn)能將達(dá)49550噸,至2010年將達(dá)58800噸。預(yù)計到2010年全球多晶硅需求量將達(dá)85000噸,缺口26200噸。從長遠(yuǎn)來看,考慮到未來石化能源的短缺和各國對太陽能產(chǎn)業(yè)的大力支持,需求將持續(xù)增長。根據(jù)歐洲光伏工業(yè)聯(lián)合會的2010年各國光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展計劃預(yù)計,屆時全球光伏產(chǎn)量將達(dá)到15GW(1GW=1000MW),設(shè)想其中60%使用多晶硅為原材料,如果技術(shù)進(jìn)步每MW消耗10噸多晶硅,保守估計全球至少需要太陽能多晶硅5萬噸以上。
我國多晶硅工業(yè)起步于五、六十年代中期,生產(chǎn)廠多達(dá)20余家,生由于生產(chǎn)技術(shù)難度大,生產(chǎn)規(guī)模小,工藝技術(shù)落后,環(huán)境污染嚴(yán)重,耗能大,成本高,絕大部分企業(yè)虧損而相繼停產(chǎn)和轉(zhuǎn)產(chǎn),到1996年僅剩下四家,即峨眉半導(dǎo)體材料廠(所),洛陽單晶硅廠、天原化工廠和棱光實業(yè)公司,合計當(dāng)年產(chǎn)量為102.2噸,產(chǎn)能與生產(chǎn)技術(shù)都與國外有較大的差距。
1995年后,棱光實業(yè)公司和重慶天原化工廠相繼停產(chǎn)?,F(xiàn)在國內(nèi)主要多晶硅生產(chǎn)廠商有洛陽中硅高科技公司、四川峨眉半導(dǎo)體廠和四川新光硅業(yè)公司、到2005年底,洛陽中硅高科技公司300噸生產(chǎn)線已正式投產(chǎn),二期擴建1000噸多晶硅生產(chǎn)線也同時破土動工,河南省計劃將其擴建到3000噸規(guī)模,建成國內(nèi)最大的硅產(chǎn)業(yè)基地。四川峨眉半導(dǎo)體材料廠(所)是國內(nèi)最早擁有多晶硅生產(chǎn)技術(shù)的企業(yè),2005年太陽能電池用戶投資,擴產(chǎn)的220噸多晶硅生產(chǎn)線將于2006年上半年投產(chǎn),四川新光硅業(yè)公司實施的1000噸多晶硅生產(chǎn)線正在加快建設(shè),計劃在2006年底投產(chǎn),此外,云南、揚州、上海、黑河、錦州、青海、內(nèi)蒙、宜昌、廣西、重慶、遼寧、邯鄲、保定、浙江等地也有建生產(chǎn)線設(shè)想。
三、行業(yè)發(fā)展的主要問題
同國際先進(jìn)水平相比,國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)在產(chǎn)業(yè)化方面的差距主要表現(xiàn)在以下幾個方面:
1、產(chǎn)能低,供需矛盾突出。2005年中國太陽能用單晶硅企業(yè)開工率在20%-30%,半導(dǎo)體用單晶硅企業(yè)開工率在80%-90%,無法實現(xiàn)滿負(fù)荷生產(chǎn),多晶硅技術(shù)和市場仍牢牢掌握在美、日、德國的少數(shù)幾個生產(chǎn)廠商中,嚴(yán)重制約我國產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
2、生產(chǎn)規(guī)模小、現(xiàn)在公認(rèn)的最小經(jīng)濟規(guī)模為1000噸/年,最佳經(jīng)濟規(guī)模在2500噸/年,而我國現(xiàn)階段多晶硅生產(chǎn)企業(yè)離此規(guī)模仍有較大的距離。
3、工藝設(shè)備落后,同類產(chǎn)品物料和電力消耗過大,三廢問題多,與國際水平相比,國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)物耗能耗高出1倍以上,產(chǎn)品成本缺乏競爭力。
4、千噸級工藝和設(shè)備技術(shù)的可靠性、先進(jìn)性、成熟性以及各子系統(tǒng)的相互匹配性都有待生產(chǎn)運行驗證,并需要進(jìn)一步完善和改進(jìn)。
5、國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新能力不強,基礎(chǔ)研究資金投入太少,尤其是非標(biāo)設(shè)備的研發(fā)制造能力差。
6、地方政府和企業(yè)項目投資多晶硅項目,存在低水平重復(fù)建設(shè)的隱憂。
四、行業(yè)發(fā)展的對策與建議
1、發(fā)展壯大我國多晶硅產(chǎn)業(yè)的市場條件已經(jīng)基本具備、時機已經(jīng)成熟,國家相關(guān)部門加大對多晶硅產(chǎn)業(yè)技術(shù)研發(fā),科技創(chuàng)新、工藝完善、項目建設(shè)的支持力度,抓住有利時機發(fā)展壯大我國的多晶硅產(chǎn)業(yè)。
2、支持最具條件的改良西門子法共性技術(shù)的實施,加快突破千噸級多晶硅產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù),形成從材料生產(chǎn)工藝、裝備、自動控制、回收循環(huán)利用的多晶硅產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線,材料性能接近國際同類產(chǎn)品指標(biāo);建成節(jié)能、低耗、環(huán)保、循環(huán)、經(jīng)濟的多晶硅材料生產(chǎn)體系,提高我們多晶硅在國際上的競爭力。
3、依托高校以及研究院所,加強新一代低成本工藝技術(shù)基礎(chǔ)性及前瞻性研究,建立低成本太陽能及多晶硅研究開發(fā)的知識及技術(shù)創(chuàng)新體系,獲得具有自主知識產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)工藝和技術(shù)。
4、政府主管部門加強宏觀調(diào)控與行業(yè)管理,避免低水平項目的重復(fù)投資建設(shè),保證產(chǎn)業(yè)的有序、可持續(xù)發(fā)展。
我國從事半導(dǎo)體硅材料生產(chǎn)企業(yè)概況:
我國從事半導(dǎo)體硅材料生產(chǎn)的企業(yè)總共40余家.截止06年銷售額超過一億元的企業(yè)已達(dá)17家.
1,河北寧晉單晶硅基地
2,有研半導(dǎo)體材料股份公司
3,洛陽單晶硅有限責(zé)任公司/洛陽中硅高科技有限公司
4,無錫華潤華晶微電子有限公司
5,寧波立立電子股份有限公司
6,上海合晶硅材料有限公司
7,上海申和熱磁公司
8,娥眉半導(dǎo)體材料廠
9,杭州海納半導(dǎo)體有限公司
10,萬向硅峰電子股份有限公司
11,錦州新日硅材料(華昌電子材料/華日硅)公司
12,天津環(huán)歐半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
13,常州億晶電子科技有限公司
14,常州天合光能有限公司
15,江蘇順大半導(dǎo)體發(fā)展有限公司
16,新疆新能源股份有限公司
17,南京國盛電子有限公司
這些企業(yè)中供應(yīng)半導(dǎo)體硅拋光片的有寧波立立電子股份有限公司、有研半導(dǎo)體材料股份公司、無錫華潤華晶微電子有限公司、上海合晶硅材料有限公司、上海申和熱磁公司等-----changaiyin
單多晶硅國內(nèi)含稅價格
單晶硅棒2600元/公斤,多晶硅棒2400元/公斤-----changaiyin
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江西賽維LDK太陽能高科技有限公司是目前亞洲規(guī)模最大的太陽能多晶硅片生產(chǎn)企業(yè)。工廠坐落于江西省新余市經(jīng)濟開發(fā)區(qū),專注于太陽能多晶硅鑄錠及多晶硅片研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體的高新技術(shù)光伏企業(yè),擁有國際最先進(jìn)的生產(chǎn)技術(shù)和設(shè)備。公司注冊資金11095萬美元,總投資近3億美元。2006年4月份投產(chǎn), 7月份產(chǎn)能達(dá)到100兆瓦,8月份入選“RED HERRING亞洲百強企業(yè)”,10月份產(chǎn)能達(dá)到200兆瓦,被國際專業(yè)人士稱為“LDK速度奇跡”。榮獲“2006年中國新材料產(chǎn)業(yè)最具成長性企業(yè)”稱號。 目前公司正致力于發(fā)展成為一個“世界級光伏企業(yè)”。
2007年6月1日,賽維LDK成功在美國紐約證交所上市,成為中國企業(yè)歷史上在美國單一發(fā)行最大的一次IPO;賽維LDK是江西省企業(yè)有史以來第一次在美國上市的企業(yè),是中國新能源領(lǐng)域最大的一次IPO。
該公司1.5萬噸硅料項目近日已在江西省新余市正式啟動,該項目總固定資產(chǎn)投資120億元以上,預(yù)計將成為目前全球太陽能領(lǐng)域單個投資額最多、產(chǎn)能設(shè)計規(guī)模最大的項目之一。
據(jù)悉,該項目計劃首期在2008年底前建成投產(chǎn),形成6000噸太陽能級硅料的年生產(chǎn)能力;2009年項目全部建成投產(chǎn)后,將形成1.5萬噸產(chǎn)能,從而使該公司成為世界主要的太陽能多晶硅原料生產(chǎn)企業(yè)。
當(dāng)?shù)赜嘘P(guān)人士表示,該項目的實施,不僅可以有效緩解國內(nèi)光伏行業(yè)發(fā)展中遭遇的原料短缺等瓶頸制約,而且可以有力提升我國光伏產(chǎn)業(yè)的綜合競爭力。
國際多晶硅主要技術(shù)特征有以下兩點:
(1)多種生產(chǎn)工藝路線并存,產(chǎn)業(yè)化技術(shù)封鎖、壟斷局面不會改變。由于各多晶硅生產(chǎn)工廠所用主輔原料不盡相同,因此生產(chǎn)工藝技術(shù)不同;進(jìn)而對應(yīng)的多晶硅產(chǎn)品技術(shù)經(jīng)濟指標(biāo)、產(chǎn)品質(zhì)量指標(biāo)、用途、產(chǎn)品檢測方法、過程安全等方面也存在差異,各有技術(shù)特點和技術(shù)秘密,總的來說,目前國際上多晶硅生產(chǎn)主要的傳統(tǒng)工藝有:改良西門子法、硅烷法和流化床法。其中改良西門子工藝生產(chǎn)的多晶硅的產(chǎn)能約占世界總產(chǎn)能的80%,短期內(nèi)產(chǎn)業(yè)化技術(shù)壟斷封鎖的局面不會改變。
(2)新一代低成本多晶硅工藝技術(shù)研究空前活躍。除了傳統(tǒng)工藝(電子級和太陽能級兼容)及技術(shù)升級外,還涌現(xiàn)出了幾種專門生產(chǎn)太陽能級多晶硅的新工藝技術(shù),主要有:改良西門子法的低價格工藝;冶金法從金屬硅中提取高純度硅;高純度SiO2直接制??;熔融析出法(VLD:Vaper to liquid deposition);還原或熱分解工藝;無氯工藝技術(shù),Al-Si溶體低溫制備太陽能級硅;熔鹽電解法等。
二、國內(nèi)多晶硅產(chǎn)業(yè)概況
我國集成電路的增長,硅片生產(chǎn)和太陽能電池產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,大大帶動多晶硅材料的增長。
太陽能電池用多晶硅按每生產(chǎn)1MW多晶硅太陽能電池需要11-12噸多晶硅計算,我國2004年多晶、單晶太陽能電池產(chǎn)量為48.45MW,多晶硅用量為678噸左右,而實際產(chǎn)能已達(dá)70MW左右,多晶硅缺口達(dá)250噸以上。
到2005年底國內(nèi)太陽能電池產(chǎn)能達(dá)到300MW,實際能形成的產(chǎn)量約為110MW,需要多晶硅1400噸左右,預(yù)測到2010年太陽能電池產(chǎn)量達(dá)300MW,需要多晶硅保守估計約4200噸,因此太陽能電池的生產(chǎn)將大大帶動多晶硅需求的增加,見表3。
2005年中國太陽能電池用單晶硅企業(yè)開工率在20%-30%,半導(dǎo)體用單晶硅企業(yè)開工率在80%-90%,都不能滿負(fù)荷生產(chǎn),主要原因是多晶硅供給量不足所造成的。預(yù)計多晶硅生產(chǎn)企業(yè)擴產(chǎn)后的產(chǎn)量,仍然滿足不了快速增長的需要。
我國多晶硅工業(yè)起步于五、六十年代中期,生產(chǎn)廠多達(dá)20余家,生由于生產(chǎn)技術(shù)難度大,生產(chǎn)規(guī)模小,工藝技術(shù)落后,環(huán)境污染嚴(yán)重,耗能大,成本高,絕大部分企業(yè)虧損而相繼停產(chǎn)和轉(zhuǎn)產(chǎn),到1996年僅剩下四家,即峨眉半導(dǎo)體材料廠(所),洛陽單晶硅廠、天原化工廠和棱光實業(yè)公司,合計當(dāng)年產(chǎn)量為102.2噸,產(chǎn)能與生產(chǎn)技術(shù)都與國外有較大的差距。
1995年后,棱光實業(yè)公司和重慶天原化工廠相繼停產(chǎn)?,F(xiàn)在國內(nèi)主要多晶硅生產(chǎn)廠商有洛陽中硅高科技公司、四川峨眉半導(dǎo)體廠和四川新光硅業(yè)公司、到2005年底,洛陽中硅高科技公司300噸生產(chǎn)線已正式投產(chǎn),二期擴建1000噸多晶硅生產(chǎn)線也同時破土動工,河南省計劃將其擴建到3000噸規(guī)模,建成國內(nèi)最大的硅產(chǎn)業(yè)基地。四川峨眉半導(dǎo)體材料廠(所)是國內(nèi)最早擁有多晶硅生產(chǎn)技術(shù)的企業(yè),2005年太陽能電池用戶投資,擴產(chǎn)的220噸多晶硅生產(chǎn)線將于2006年上半年投產(chǎn),四川新光硅業(yè)公司實施的1000噸多晶硅生產(chǎn)線正在加快建設(shè),計劃在2006年底投產(chǎn),此外,云南、揚州、上海、黑河、錦州、青海、內(nèi)蒙、宜昌、廣西、重慶、遼寧、邯鄲、保定、浙江等地也有建生產(chǎn)線設(shè)想。
三、行業(yè)發(fā)展的主要問題
同國際先進(jìn)水平相比,國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)在產(chǎn)業(yè)化方面的差距主要表現(xiàn)在以下幾個方面:
1、產(chǎn)能低,供需矛盾突出。2005年中國太陽能用單晶硅企業(yè)開工率在20%-30%,半導(dǎo)體用單晶硅企業(yè)開工率在80%-90%,無法實現(xiàn)滿負(fù)荷生產(chǎn),多晶硅技術(shù)和市場仍牢牢掌握在美、日、德國的少數(shù)幾個生產(chǎn)廠商中,嚴(yán)重制約我國產(chǎn)業(yè)發(fā)展。
2、生產(chǎn)規(guī)模小、現(xiàn)在公認(rèn)的最小經(jīng)濟規(guī)模為1000噸/年,最佳經(jīng)濟規(guī)模在2500噸/年,而我國現(xiàn)階段多晶硅生產(chǎn)企業(yè)離此規(guī)模仍有較大的距離。
3、工藝設(shè)備落后,同類產(chǎn)品物料和電力消耗過大,三廢問題多,與國際水平相比,國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)物耗能耗高出1倍以上,產(chǎn)品成本缺乏競爭力。
4、千噸級工藝和設(shè)備技術(shù)的可靠性、先進(jìn)性、成熟性以及各子系統(tǒng)的相互匹配性都有待生產(chǎn)運行驗證,并需要進(jìn)一步完善和改進(jìn)。
5、國內(nèi)多晶硅生產(chǎn)企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新能力不強,基礎(chǔ)研究資金投入太少,尤其是非標(biāo)設(shè)備的研發(fā)制造能力差。
6、地方政府和企業(yè)項目投資多晶硅項目,存在低水平重復(fù)建設(shè)的隱憂。
四、行業(yè)發(fā)展的對策與建議
1、發(fā)展壯大我國多晶硅產(chǎn)業(yè)的市場條件已經(jīng)基本具備、時機已經(jīng)成熟,國家相關(guān)部門加大對多晶硅產(chǎn)業(yè)技術(shù)研發(fā),科技創(chuàng)新、工藝完善、項目建設(shè)的支持力度,抓住有利時機發(fā)展壯大我國的多晶硅產(chǎn)業(yè)。
2、支持最具條件的改良西門子法共性技術(shù)的實施,加快突破千噸級多晶硅產(chǎn)業(yè)化關(guān)鍵技術(shù),形成從材料生產(chǎn)工藝、裝備、自動控制、回收循環(huán)利用的多晶硅產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)線,材料性能接近國際同類產(chǎn)品指標(biāo);建成節(jié)能、低耗、環(huán)保、循環(huán)、經(jīng)濟的多晶硅材料生產(chǎn)體系,提高我們多晶硅在國際上的競爭力。
3、依托高校以及研究院所,加強新一代低成本工藝技術(shù)基礎(chǔ)性及前瞻性研究,建立低成本太陽能及多晶硅研究開發(fā)的知識及技術(shù)創(chuàng)新體系,獲得具有自主知識產(chǎn)權(quán)的生產(chǎn)工藝和技術(shù)。
4、政府主管部門加強宏觀調(diào)控與行業(yè)管理,避免低水平項目的重復(fù)投資建設(shè),保證產(chǎn)業(yè)的有序、可持續(xù)發(fā)展。
下面是單晶硅和多晶硅的一點資料 :
多晶硅是生產(chǎn)單晶硅的直接原料,是當(dāng)代人工智能、自動控制、信息處理、光電轉(zhuǎn)換等半導(dǎo)體器件的電子信息基礎(chǔ)材料。被稱為“微電子大廈的基石”。
在太陽能利用上,單晶硅和多晶硅也發(fā)揮著巨大的作用。雖然從目前來講,要使太陽能發(fā)電具有較大的市場,被廣大的消費者接受,就必須提高太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率,降低生產(chǎn)成本。從目前國際太陽電池的發(fā)展過程可以看出其發(fā)展趨勢為單晶硅、多晶硅、帶狀硅、薄膜材料(包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜)。
從工業(yè)化發(fā)展來看,重心已由單晶向多晶方向發(fā)展,主要原因為;[1]可供應(yīng)太陽電池的頭尾料愈來愈少;[2] 對太陽電池來講,方形基片更合算,通過澆鑄法和直接凝固法所獲得的多晶硅可直接獲得方形材料;[3]多晶硅的生產(chǎn)工藝不斷取得進(jìn)展,全自動澆鑄爐每生產(chǎn)周期(50小時)可生產(chǎn)200公斤以上的硅錠,晶粒的尺寸達(dá)到厘米級;[4]由于近十年單晶硅工藝的研究與發(fā)展很快,其中工藝也被應(yīng)用于多晶硅電池的生產(chǎn),例如選擇腐蝕發(fā)射結(jié)、背表面場、腐蝕絨面、表面和體鈍化、細(xì)金屬柵電極,采用絲網(wǎng)印刷技術(shù)可使柵電極的寬度降低到50微米,高度達(dá)到15微米以上,快速熱退火技術(shù)用于多晶硅的生產(chǎn)可大大縮短工藝時間,單片熱工序時間可在一分鐘之內(nèi)完成,采用該工藝在100平方厘米的多晶硅片上作出的電池轉(zhuǎn)換效率超過14%。據(jù)報道,目前在50~60微米多晶硅襯底上制作的電池效率超過16%。利用機械刻槽、絲網(wǎng)印刷技術(shù)在100平方厘米多晶上效率超過17%,無機械刻槽在同樣面積上效率達(dá)到16%,采用埋柵結(jié)構(gòu),機械刻槽在130平方厘米的多晶上電池效率達(dá)到15.8%
單晶硅和多晶硅的區(qū)別是,當(dāng)熔融的單質(zhì)硅凝固時,硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,如果這些晶核長成晶面取向相同的晶粒,則形成單晶硅。如果這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則形成多晶硅。多晶硅與單晶硅的差異主要表現(xiàn)在物理性質(zhì)方面。例如在力學(xué)性質(zhì)、電學(xué)性質(zhì)等方面,多晶硅均不如單晶硅。多晶硅可作為拉制單晶硅的原料。單晶硅可算得上是世界上最純凈的物質(zhì)了,一般的半導(dǎo)體器件要求硅的純度六個9以上。大規(guī)模集成電路的要求更高,硅的純度必須達(dá)到九個9。目前,人們已經(jīng)能制造出純度為十二個9 的單晶硅。單晶硅是電子計算機、自動控制系統(tǒng)等現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)中不可缺少的基本材料。
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