擴(kuò)散爐廢氣如何排掉

【專家解說(shuō)】：擴(kuò)散爐概述： 擴(kuò)散爐是太陽(yáng)能電池片形成P-N結(jié)的“心臟”，因此擴(kuò)散爐的質(zhì)量影響到電池片的電性能?，F(xiàn)在太陽(yáng)能廠家流行的的擴(kuò)散方式有開管擴(kuò)散、閉管擴(kuò)散、軟著陸擴(kuò)散，開管擴(kuò)散的產(chǎn)量比較低，偏磷酸的用量比較大；閉管擴(kuò)散工藝過(guò)程完全不受外界環(huán)境干擾；軟著陸擴(kuò)散是根據(jù)現(xiàn)有6-8英寸集成電路擴(kuò)散設(shè)備，而提出的新概念；軟著陸擴(kuò)散工藝質(zhì)量完全受控；工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放；更加安環(huán)保。 排氣腔一端與擴(kuò)散爐本體內(nèi)腔連通，另一端與廢氣管相連通，廢氣管與排氣腔連通的一端與隔熱包呈插拔配合，且廢氣管位于擴(kuò)散爐內(nèi)腔的部分上設(shè)置有廢氣孔。隔熱包頂端開設(shè)的透氣孔可收集擴(kuò)散爐內(nèi)產(chǎn)生的廢氣和凝集在隔熱包上的廢液，并使廢氣和廢液通過(guò)排氣腔進(jìn)入廢氣管后排出擴(kuò)散爐，廢氣管上的廢氣孔能將位于低處的廢氣和產(chǎn)生于低處的費(fèi)用通過(guò)廢氣管排出擴(kuò)散爐，整體提高擴(kuò)散爐的工作效率。 主要技術(shù)指標(biāo)： 方式、數(shù)量：左手操作（或右手操作） 硅片尺寸及管路數(shù)：156×156方片、125X125方片、三管系統(tǒng)（或四管） 裝片數(shù)量： 300-400片/每管 凈化臺(tái)潔凈度：100級(jí)（10000級(jí)廠房） 自動(dòng)化程度：自動(dòng)控制溫度及工藝過(guò)程。 送取片方式：懸臂式推拉舟和軟著陸式推拉舟 采用SPIKE/PROFILE熱偶自動(dòng)切換控溫 工作溫度： 800~1200℃ 溫區(qū)精度及長(zhǎng)度(靜態(tài)閉管測(cè)試)： 800℃＜工作溫度＜1200℃： 1080mm /≤±1℃ 400℃≤工作溫度≤800℃： 1080mm /≤±2℃ 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測(cè)試)： ≤±1℃/12h（880℃時(shí)） 送料裝置技術(shù)參數(shù)： 速度 100~500mm/min 定位精度： ≤±2mm SiC漿承載能力： ≥15Kg 型式： 手工裝片，高純碳化硅漿 加速控制特性： 軟啟動(dòng)/停止 外形尺寸范圍：(單位mm)（長(zhǎng)×寬×高） ~6700×1400×2900 控制系統(tǒng)： 設(shè)備采用進(jìn)口智能控制器,對(duì)爐溫、閥門進(jìn)行自動(dòng)控制,用一臺(tái)工控機(jī)作人機(jī)界面管理、儲(chǔ)存全部工藝時(shí)序。每個(gè)爐管有一套獨(dú)立PLC和觸摸屏的控制系統(tǒng)。系統(tǒng)采用雙保險(xiǎn)設(shè)計(jì)，PLC加工控機(jī)。以PLC為主控單元。保證了工藝的順利完成。即使工藝過(guò)程中工控機(jī)突然死機(jī)，工藝過(guò)程仍可通過(guò)PLC的控制安全的執(zhí)行下去. 全中文操作界面，可編輯參數(shù)，操作簡(jiǎn)便。 采用目前最先進(jìn)的進(jìn)口溫控單元，使設(shè)備控溫更精確。 可保存多條工藝曲線，每條曲線可設(shè)置多步。 工藝曲線的自動(dòng)運(yùn)行控制功能。 自動(dòng)運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能。 工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝步運(yùn)行功能。 智能升降溫斜率控制功能。 PID參數(shù)自整定功能。 可存儲(chǔ)多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能。 系統(tǒng)故障的檢測(cè)與報(bào)警功能。 系統(tǒng)誤差修正（單點(diǎn)或多點(diǎn)動(dòng)態(tài)修正功能）。 智能懸臂推拉舟控制功能。 工藝氣體的程序控制功能（氣動(dòng)閥/質(zhì)量流量控制器）。 停電后斷點(diǎn)繼續(xù)運(yùn)行功能。 計(jì)算機(jī)的工藝運(yùn)行窗口設(shè)有密碼，只有工藝人員或相關(guān)管理人員才能修改或調(diào)出工藝參數(shù),可防止工藝泄密及操作員工誤運(yùn)行工藝。 氣路系統(tǒng)： 整臺(tái)氣路系統(tǒng)包括進(jìn)口質(zhì)量流量控制器，優(yōu)質(zhì)浮子流量計(jì)、接頭、過(guò)濾器、壓力表，管道部分采用耐蝕不銹鋼管件。源瓶超壓自動(dòng)泄壓保護(hù)功能，杜絕爆瓶現(xiàn)象的發(fā)生。氣體流量由進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì)控制，流量的設(shè)定在計(jì)算機(jī)上進(jìn)行，其設(shè)定值和檢測(cè)值均可在顯示器上實(shí)時(shí)顯示。設(shè)備整個(gè)氣路系統(tǒng)均采用進(jìn)口產(chǎn)品，保證設(shè)備運(yùn)行的穩(wěn)定性。擴(kuò)散源的溫度可采用國(guó)產(chǎn)恒溫控制器控制，控溫精度≤±0.5℃。 安全保護(hù)與報(bào)警： 為了保證設(shè)備的安全運(yùn)行和快速診斷設(shè)備故障，設(shè)備應(yīng)具有多種安全聯(lián)鎖裝置和故障報(bào)警功能。 超溫保護(hù)： 當(dāng)爐溫超過(guò)設(shè)定值時(shí)，屏幕會(huì)顯示超溫，此時(shí)超溫報(bào)警、訊響、通知操作人員及時(shí)處理。當(dāng)同一個(gè)測(cè)溫點(diǎn)得2個(gè)儀表讀數(shù)相差2℃以上時(shí)也發(fā)出報(bào)警。 極限超溫報(bào)警： 當(dāng)爐溫由于故障超過(guò)報(bào)警設(shè)定值繼續(xù)升高，達(dá)到極限爐溫時(shí)，超溫的加熱器會(huì)自動(dòng)斷電。。 斷偶保護(hù)： 當(dāng)控制熱偶或報(bào)警熱偶，斷開或接觸不良時(shí)，此時(shí)會(huì)有超溫報(bào)警或極限超溫報(bào)警狀態(tài)發(fā)生。通知操作人員及時(shí)排除故障。 極限保護(hù)： 在導(dǎo)軌的前后限位開關(guān)處還加有極限保護(hù)開關(guān)，一旦限位開關(guān)失效，極限開關(guān)即可停止電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)。 手動(dòng)急停： 自動(dòng)進(jìn)出舟過(guò)程中，萬(wàn)一出現(xiàn)限位開關(guān)和極限開關(guān)均失效的緊急情況，可立即按下急停按鈕，舟的運(yùn)行即刻停止，可避免損壞石英器件及工藝片。