Ga、As基的MOCVD尾氣里的東西有劇毒，需要小心處理。
GaN基的MOC">

首頁 > 專家說

mocvd有熱廢氣嗎

來源：新能源網(wǎng)
時間：2024-08-17 12:44:35
熱度：

mocvd有熱廢氣嗎【專家解說】：有廢氣，但不是很熱。只不過廢氣成分比較復雜，需要獨特的處理系統(tǒng)。
Ga、As基的MOCVD尾氣里的東西有劇毒，需要小心處理。
GaN基的MOC

【專家解說】：有廢氣，但不是很熱。只不過廢氣成分比較復雜，需要獨特的處理系統(tǒng)。 Ga、As基的MOCVD尾氣里的東西有劇毒，需要小心處理。 GaN基的MOCVD（目前常用的）里面主要是氨氣，用個能添酸中和的噴淋處理系統(tǒng)就行了。
熱門標簽：原理 設備

免責聲明：此資訊系轉(zhuǎn)載自互聯(lián)網(wǎng)其它網(wǎng)站，全球新能源網(wǎng)登載此文出于傳遞更多信息之目的，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負責，文章內(nèi)容僅供參考。如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請在30工作日內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，我們將在第一時間處理！