LED外延片生長(zhǎng)需要用到哪些設(shè)備和原料、工藝流程是什么?目前我了解到的是MOCVD、尾氣處理器、MO源，請(qǐng)補(bǔ)充

【專(zhuān)家解說(shuō)】：問(wèn)題是LED外延片生長(zhǎng)是吧，那就僅僅是GaN基的LED的生長(zhǎng)。 用到的設(shè)備主要是MOCVD設(shè)備。當(dāng)然還有一些輔助設(shè)備，比如尾氣處理系統(tǒng)、超凈間及排風(fēng)系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、氣站和供氣系統(tǒng)等。 使用的原料和耗材我原來(lái)回答過(guò)，如下： 1、生產(chǎn)原材料累 藍(lán)寶石襯底（圖形襯底或平面襯底）、有機(jī)源（鎵源、鎂源、鋁源等）、氨氣、高純氮、高純氫 2、設(shè)備易損件 石墨盤(pán)（100多爐換，看工藝了）、加熱系統(tǒng)備件（沒(méi)問(wèn)題的話(huà)能用年把）、尾氣過(guò)濾器（常換） Veeco有些型號(hào)的設(shè)備帶有小型氣體純化器，此類(lèi)不能再生，也應(yīng)該算耗材之一吧。 3、配套耗材 手套、無(wú)塵布、無(wú)水乙醇、尾氣中和用的酸等 工藝流程是 1 將藍(lán)寶石襯底放入MOCVD 2 高溫到1050度左右退火或叫高溫刻蝕 3 低溫到500度左右長(zhǎng)低溫層 4 高溫到1050度左右生長(zhǎng)非摻GaN和n型GaN 5 生長(zhǎng)量子阱 6 生長(zhǎng)p型GaN 7 取出來(lái)就完成外延工藝了 下面就該轉(zhuǎn)到芯片工藝去了。