什么是“全氟化碳”？

【專家解說】：中文名：四氟甲烷；四氟化碳 英文名：tetrafluoromethane; carbon tetrafluoride 分子式：CF4 相對(duì)分子質(zhì)量：88.01CAS號(hào)：75-73-0 危險(xiǎn)性類別：第2.2類 不燃?xì)怏w化學(xué)類別：鹵代烷 四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，可廣泛應(yīng)用于硅、二氧化硅、氮化硅，磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗，太陽能電池的生產(chǎn)，激光技術(shù)、氣相絕緣、低溫制冷、泄漏檢驗(yàn)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)，印刷電路生產(chǎn)中的去污劑等方面也大量使用。 侵入途徑： 接觸眼睛,接觸皮膚,吸入,誤食 健康危害： 當(dāng)中害者因?yàn)槿毖醪皇∪耸拢仨氜D(zhuǎn)移到?jīng)]受污染的地方使之能呼吸新鮮空氣或者輸入氧氣 環(huán)境危害： 該物質(zhì)在常溫常壓下是氣體。吸入高濃度的溶液后，會(huì)發(fā)生頭昏、惡心、嘔吐、方向感喪失、失調(diào)、昏迷。吸入者會(huì)窒息。低溫氣體會(huì)導(dǎo)致凍傷。