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非晶硅薄膜太陽能電池工藝過程中用到哪些設(shè)備

來源:新能源網(wǎng)
時(shí)間:2024-08-17 08:27:45
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非晶硅薄膜太陽能電池工藝過程中用到哪些設(shè)備【專家解說】:磨邊機(jī),清洗機(jī),預(yù)熱爐,PECVD(沉積爐),PVD(磁控濺射)或者是LPCVD 來做透明電極,退火爐,測試機(jī),滾焊機(jī),層壓

【專家解說】:磨邊機(jī),清洗機(jī),預(yù)熱爐,PECVD(沉積爐),PVD(磁控濺射)或者是LPCVD 來做透明電極,退火爐,測試機(jī),滾焊機(jī),層壓機(jī)。 很重要的一個(gè) 激光劃線機(jī) 這樣就全面了