關(guān)于太陽能電池板生產(chǎn)工藝和設(shè)備的一些問題

【專家解說】：我將嘗試盡我所能的一一解答以上各個(gè)問題： 1、“擴(kuò)散爐”顧名思義就是用來擴(kuò)散的爐子，在晶體硅太陽能電池的生產(chǎn)制造行業(yè)中，自然是用于對(duì)硅基片的擴(kuò)散摻雜，制備P-N結(jié)結(jié)構(gòu)。至于硅片的熱氧化，只不過是擴(kuò)散摻雜技術(shù)工藝的一個(gè)中間過程，是為了提高擴(kuò)散工藝的穩(wěn)定性和均勻性而設(shè)計(jì)的。但是一般氧化層厚度極薄，與半導(dǎo)體晶圓工藝制程中的氧化完全不同，因此這里經(jīng)過熱氧化的硅片只是中間的一個(gè)狀態(tài)，一般并不單獨(dú)作為一個(gè)工藝單元。 2、“爐管”即“TUBE”，顯然只有管式爐才有爐管只稱謂，板式則稱為“腔”。除了擴(kuò)散爐，PECVD也有管式設(shè)備，基本上和擴(kuò)散爐的爐管是同一個(gè)概念。 ——另外，國產(chǎn)PECVD以管式居多。