氫氣在非晶硅太陽能電池中的作用
來源:新能源網(wǎng)
時間:2024-08-17 14:32:09
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氫氣在非晶硅太陽能電池中的作用【專家解說】:高效α-Si 太陽電池采用射頻輝光放電法制造,沉積大面積、高質(zhì)量、均勻的α-Si 膜是α-Si 太陽電池的關(guān)鍵工序。pin 結(jié)太陽電池在
【專家解說】:高效α-Si 太陽電池采用射頻輝光放電法制造,沉積大面積、高質(zhì)量、均勻的α-Si 膜是α-Si 太陽電池的關(guān)鍵工序。pin 結(jié)太陽電池在沉積i層時采用氫與硅烷的混合氣。對氫氣純度要求高,一般為5 N(99.999%) 以上。
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