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非晶硅薄膜太陽能電池制造中激光刻線的要求?

來源:新能源網(wǎng)
時(shí)間:2024-08-17 14:22:06
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非晶硅薄膜太陽能電池制造中激光刻線的要求?【專家解說】:第一道激光劃線,也叫做P1,需要將TCO膜劃斷,既然是將導(dǎo)電薄膜劃斷,那么就需要?jiǎng)潝嗪蟮碾娮瑁ㄈf用表跨線測(cè)量即可)大,一般要

【專家解說】:第一道激光劃線,也叫做P1,需要將TCO膜劃斷,既然是將導(dǎo)電薄膜劃斷,那么就需要?jiǎng)潝嗪蟮碾娮瑁ㄈf用表跨線測(cè)量即可)大,一般要求2兆歐。P2劃硅層,不能破壞TCO層。P3劃背電極及硅層,同樣不能破壞TCO層。 三道激光劃線需要平行度高,避免交叉;需要線寬線距小,以降低死區(qū)寬度;需要邊緣平滑無毛刺,避免未劃斷造成短路;光斑重疊率要小,以提高加工效率。