電子行業(yè)超純水設(shè)備的工藝流程有哪些?

【專家解說】：凈得瑞為您解答： 電子行業(yè)制備超純水的工藝大致分成以下幾種： 1、采用離子交換樹脂制備超純水的其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→保安過濾器→陽床→陰床(復(fù)床)→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn) 2、采用反滲透水處理設(shè)備與離子交換設(shè)備其基本工藝流程為：原水→原水箱→原水泵→多介質(zhì)過濾器→保安過濾器→高壓泵→反滲透設(shè)備→RO水箱→混床泵→混床→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn) 3、采用反滲透水處理設(shè)備與電去離子(EDI)設(shè)備，這是一種制取超純水的最新工藝，也是一種環(huán)保，經(jīng)濟(jì)，發(fā)展?jié)摿薮蟮某兯苽涔に嚕浠竟に嚵鞒虨椋涸洹谩嘟橘|(zhì)過濾器→精密過濾器→高壓泵→反滲透設(shè)備→RO水箱→(EDI)泵→保安過濾器→紫外線→電去離子(EDI)→純水箱→純水泵→后置精密過濾器→用水點(diǎn)