清潔等離子體在輝光光譜成份分析中的應(yīng)用

【摘要】：輝光光譜儀在進(jìn)行成分分析時(shí),需要等離子體穩(wěn)定時(shí)才能進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。一般通過(guò)用氬氣吹洗腔體和設(shè)置預(yù)積分來(lái)保證等離子體穩(wěn)定后再采集數(shù)據(jù)。吹洗會(huì)將大部分的污染物用氬氣帶出輝光放電腔,但是仍然會(huì)有少量的污染物吸附在腔壁上。在輝光放電時(shí),氬原子的碰撞會(huì)將這些污染物從腔壁上撞下來(lái),進(jìn)入等離子體中,影響等離子體的狀態(tài)。本文提出了用"清潔等離子體"的步驟來(lái)減小這種影響。"清潔等離子體"的步驟就是一個(gè)前預(yù)積分步驟。在真正進(jìn)行預(yù)積分前,用一個(gè)短暫的時(shí)間產(chǎn)生輝光放電,用氬原子將腔壁上的污染物清除下來(lái),然后停止輝光放電,重新進(jìn)行吹洗,將污染物排除放電腔體。再進(jìn)行預(yù)積分時(shí),就不會(huì)有污染物對(duì)等離子體的干擾,等離子體能很快的進(jìn)入穩(wěn)定狀態(tài)。 【作者單位】：武鋼研究院
【關(guān)鍵詞】：輝光光譜儀 成份分析 等離子體 預(yù)積分
【分類號(hào)】：TH744.1
【正文快照】： 目丁百i區(qū)住 ，，，，…，.戶，，石J曰，.碑~.，J目夕、.口.~jMJJ工、n、寫(xiě)尸J、J、、Z碑‘‘，J，，，二二，.尸. 盛瓦萬(wàn) }}1硯二:.3滋咒】z一{}硫=1.撇1032一1:嚴(yán)氣~~~一~~理~ }}蠕=卜(--ln延 匡墓一一 ‘薰纂歉 田1‘七I 了牛華，·、，.二/、.，. 八，，月;，八么‘，。

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