清潔的超高真空技術(shù)(綜述)

【摘要】：本文首先敘述了清潔超高真空的基本概念，并指出了污染的來源及其危害性。 敘述了各種清潔的超高真空獲得手段。主要介紹了濺射離子泵、升華鈦泵和用油擴(kuò)散榮獲得清潔的超高真空的方法。 敘述了用分子篩泵和機(jī)械泵獲得粗真空的方法。 介紹了鑒別污染的各種方法及在超高真空中各種清除污染的方法。 【作者單位】： 廣東工學(xué)院
【關(guān)鍵詞】： 抽速 升華器 吸氣面 抽氣 機(jī)械泵 極限壓強(qiáng) 超高真空 油蒸汽 分子篩 濺射離子泵
【正文快照】： t-JI po 早期的超高真空獲得手段主要是采用油擴(kuò)散系,這種系的工作液蒸汽是污染真空系統(tǒng)的主要來源。在設(shè)法減少工作液污染的同時,人們又通用鈦京來獲得超高真空。鈦泵是一種避免泵油污染的良好辦法。這樣的抽氣系統(tǒng)在佳稱之為“無油”或“清潔”的抽氣系統(tǒng)。 對某些應(yīng)用,即

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