P型太陽(yáng)能級(jí)硅電火花線切割機(jī)理及工藝研究

【摘要】：根據(jù)半導(dǎo)體的特殊電性能建立了抽象的放電加工模型,該模型分別用二極管、可變電阻、穩(wěn)壓管、電阻等器件模型近似代表半導(dǎo)體與金屬進(jìn)電端的接觸勢(shì)壘、半導(dǎo)體的體電阻、極間放電的維持電壓以及工作液電阻;根據(jù)所建立的模型分析發(fā)現(xiàn),半導(dǎo)體電火花線切割具有單向?qū)ㄐ浴舸╇妷焊叩忍攸c(diǎn),并且加工過(guò)程中進(jìn)電端會(huì)出現(xiàn)鈍化現(xiàn)象。為此,研制了針對(duì)P型太陽(yáng)能級(jí)硅切割的專用夾具,并對(duì)電阻率為2.1Ω.cm的P型太陽(yáng)能級(jí)硅錠進(jìn)行了電火花線切割,切割效率大于100 mm2/min。 【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 硅 太陽(yáng)能 電火花 線切割 模型
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(50975142)資助項(xiàng)目 江蘇省科技支撐項(xiàng)目(BE2009261)資助項(xiàng)目;江蘇省科技計(jì)劃(BG2007004)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TG484
【正文快照】： 太陽(yáng)能是一種清潔、高效和永不衰竭的新能源,光伏發(fā)電具有安全可靠、無(wú)噪聲、無(wú)污染、制約少、故障率低、維護(hù)簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)。作為光伏電池基片的太陽(yáng)能級(jí)硅片,摻雜濃度比較高,電阻率通常在1~10Ω·cm范圍內(nèi),利用電火花線切割(W EDM)加工是比較適合的[1-2]。采用W EDM技術(shù)加工太

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