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紫外光/臭氧表面清潔儀及其應(yīng)用

來源:論文學(xué)術(shù)網(wǎng)
時間:2024-08-18 17:13:18
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紫外光/臭氧表面清潔儀及其應(yīng)用【摘要】:一種紫外光/臭氧表面清潔儀已經(jīng)研制成功。這種儀器操作簡單,可以在窒溫下、大氣中進(jìn)行干法清潔,裝備這種儀器的費用低廉。俄歇電子能譜分析議和X射

【摘要】:一種紫外光/臭氧表面清潔儀已經(jīng)研制成功。這種儀器操作簡單,可以在窒溫下、大氣中進(jìn)行干法清潔,裝備這種儀器的費用低廉。俄歇電子能譜分析議和X射線光電子能譜分析儀的分析結(jié)果表明,紫外光/臭氧清潔是一種去除吸附在物體表面上的碳和各種碳?xì)浠衔镂廴镜挠行Х椒?。本文介紹紫外光/臭氧清潔方法的工作機(jī)理、實際裝置、幾種典型材料的處理結(jié)果、應(yīng)用范圍以及一些應(yīng)用實例。 【作者單位】: 中國科學(xué)院電子學(xué)研究所 中國科學(xué)院電子學(xué)研究所
【關(guān)鍵詞】紫外光源 光電子能譜儀 碳?xì)浠衔镂廴?/strong> 分析結(jié)果 應(yīng)用范圍 分析儀 高壓汞燈 原子氧 氧化作用 臭氧分解
【正文快照】: 引言 人們早就知道紫外光具有分解淡氫化合物的能力。但是用它去除吸附在物體表面上的污染物的研究工作直到七十年代初期才開始“’。由于這種方法操作方便、費用低廉、能夠在短時間內(nèi)高效率地去除吸附在物沐表面上的碳和碳?xì)浠衔?迅速地得到廣泛應(yīng)用。相對于化學(xué)溶劑的濕

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