IETS譜作為真空鍍膜系統(tǒng)清潔度的檢測手段

【摘要】：本文通過未摻雜質(zhì)Al-Al_2O_3-Pb隧道結(jié)的IETS譜測量以及機(jī)工泵油和擴(kuò)散泵油的紅外吸收光譜測量及其它們的結(jié)果作相互比較表明,在普通油擴(kuò)散泵高真空鍍膜系統(tǒng)中,樣品表面的主要污染來源于泵油. 【作者單位】： 復(fù)旦大學(xué)物理系、現(xiàn)代物理研究所
【關(guān)鍵詞】： 清潔度 膜系統(tǒng) 真空鍍 檢測手段 隧道結(jié) 擴(kuò)散泵油 紅外光譜 真空系統(tǒng) 油擴(kuò)散泵 掩膜板
【基金】：中國科學(xué)院科學(xué)基金
【正文快照】： 一已l言 、、夕..一月 當(dāng)使用一個真空系統(tǒng)制備樣品或研究樣品性質(zhì)的時候,人們往往關(guān)注系統(tǒng)本身對樣品造成的沾污.因為,污染雜質(zhì)的存在會影響樣品的特性.特別在研究那些與表面及界面有關(guān)的性質(zhì)時,雜質(zhì)吸附分子的存在是最不希望的.一個包括油擴(kuò)散泵和機(jī)械泵的普通真空鍍膜系統(tǒng)

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