硅基鋁摻雜氧化鋅異質結太陽能電池的制備與性能研究

【摘要】：本文以絨面處理的P型硅(111)為襯底,利用磁控濺射、蒸發(fā)鍍膜和熱氧化等技術制備Al/P(cryst-Si∶H)/N(Al-Doped ZnO)/ITO結構的異質結太陽能電池,探討ZnO薄膜的表面形貌、晶體結構以及襯底的可見光反射率等因素對其光電轉化性能的影響。掃描電子顯微鏡分析顯示,氧化鋅薄膜是具有大量晶界的多孔隙結構。X射線衍射測試表明,氧化鋅薄膜為六方纖鋅礦晶體結構。太陽能電池的I-V特性測試顯示,在絨面處理的硅基上制備的ZnO異質結太陽能電池具有較好的光伏特性,開路電壓VOC為328 mV,短路電流密度JSC為5.83 mA/cm2,填充因子FF為0.602。 【作者單位】： 西安郵電學院電子工程學院;西安交通大學電子與信息工程學院;
【關鍵詞】： 太陽能電池 磁控濺射 異質結 光伏特性
【基金】：西安應用材料創(chuàng)新基金(XA-AM-201004) 陜西省教育廳項目(2008JK822)
【分類號】：TM914.4
【正文快照】： 1引言作為一種取之不盡的清潔能源,太陽能的開發(fā)利用引起人類的極大關注[1-3]。目前,大規(guī)模商業(yè)化太陽能電池仍以硅太陽能電池為主,正開發(fā)的有GaAs[4]、GaN[5]、CdS[6]、銅銦硒[7]和ZnO[8-10]等新型材料太陽能電池。其中,GaAs和GaN太陽能電池雖在空間應用中比硅太陽能電池更

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