太陽能級硅切割廢料的回收技術(shù)

【摘要】：太陽能級硅棒在切割生產(chǎn)硅晶片過程中會產(chǎn)生大量的切割廢料。概述了廢料中切割液和碳化硅回收技術(shù)的進展,重點介紹和分析了價值更高的硅與碳化硅微粉分離回收技術(shù)的特點及現(xiàn)狀,并比較各種方法的優(yōu)缺點,同時結(jié)合自身的課題研究,提出了新的解決思路。分析認為先通過離心、浮選等方法對切割廢料初步提純后再經(jīng)高溫?zé)崽幚砘蚝辖鸹确椒▽⑵溥M一步分離,是較有前景的回收技術(shù)。 【作者單位】： 北京科技大學(xué)冶金與生態(tài)工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 太陽能級硅 切割廢料 回收利用 碳化硅
【基金】：長江學(xué)者和創(chuàng)新團隊發(fā)展計劃(IRT0708)
【分類號】：X705
【正文快照】： 隨著光伏產(chǎn)業(yè)和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,全球?qū)μ柲芗壒璧男枨蟾咚僭鲩L,從2005年的近3萬t增加到2009年的9萬t,年增長率為40%～50%[1]。太陽能級硅棒被切割成硅晶片時將會產(chǎn)生大量的切割廢料。以聚乙二醇等為切割液,碳化硅為磨料,在切割線的作用下,將硅棒切割成厚度約為100μm

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