歐姆龍NJ控制器在太陽能線切割機(jī)中的應(yīng)用

【摘要】：針對線切割機(jī)的控制技術(shù)要求,本文提出了采用歐姆龍NJ控制器和EtherCAT網(wǎng)絡(luò)型伺服組成的控制系統(tǒng),有效地減少了張力的波動,提高了系統(tǒng)的可靠性和實(shí)時性。 【作者單位】： 歐姆龍自動化(中國)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： NJ控制器 多線切割 太陽能線切割機(jī)
【分類號】：TN305;TP273
【正文快照】： 1引言多線切割技術(shù)(MWS:Multi-wire一Slieen)是進(jìn)行脆硬材料(如硅錠等)切割的一種創(chuàng)新性工藝。它是一種通過金屬絲的高速往復(fù)運(yùn)動，把磨料帶入半導(dǎo)體加工區(qū)域進(jìn)行研磨，將半導(dǎo)體等硬脆材料一次同時切割為數(shù)百片薄片的一種新型切割加工方法?；诟呔雀咚俚秃那懈羁刂脐P(guān)鍵技

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