連續(xù)快速常壓化學(xué)氣相沉積法制備TiO_2自清潔鍍膜玻璃

【摘要】：以四異丙醇鈦(TTIP)為先驅(qū)體,采用常壓化學(xué)氣相沉積(APCVD)法模擬鍍膜工藝過程,制備出了TiO2自清潔鍍膜玻璃。通過掃描電鏡(SEM)、X射線衍射(XRD)、紫外-可見透射光譜(UV-Vis)等手段對樣品進(jìn)行分析,并研究了基板溫度和移動速率與薄膜性能之間的關(guān)系。結(jié)果表明,當(dāng)基板溫度升高至580℃時,能夠形成平整致密的薄膜,薄膜的結(jié)晶度,光催化性能和親水性能也達(dá)到最好;基板移動速度下降到1.5 m/min時,薄膜的結(jié)晶度,光催化性和親水性也可得到改善。依據(jù)光催化性能和親水性能測試,表明沉積TiO2薄膜的最佳條件為基板溫度58O℃,基板速度1.5 m/min。 【作者單位】： 浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系 浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系 浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系 浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系 浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系 浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系
【關(guān)鍵詞】： TiO 常壓化學(xué)氣相沉積 自清潔 鍍膜玻璃
【分類號】：TQ171.7
【正文快照】： ~~連續(xù)快速常壓化學(xué)氣相沉積法制備TiO_2自清潔鍍膜玻璃@翁偉浩$浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系!杭州310027 @宋晨路$浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系!杭州310027 @翁文劍$浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系!杭州310027 @劉軍波$浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)系!杭州310027 @

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