激光在清潔領(lǐng)域的應(yīng)用

【摘要】：文章介紹了激光在清潔領(lǐng)域中的運用,闡述了激光清潔技術(shù)的機理、使用方法以及使用該項技術(shù)時應(yīng)注意的問題。 【作者單位】：
【關(guān)鍵詞】： 激光清潔 微粒 基體
【分類號】：TN249
【正文快照】： 隨著科技的不斷發(fā)展,類似微電子器件等,其密度越來越高、尺寸越來越小,但隨之而來的污染控制問題則越來越成為最關(guān)鍵的問題之一。像集成電路硅基片的加工和光刻技術(shù)、微組裝技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)要求相當(dāng)嚴格。在此高精度的要求下,器件的清潔要求也非常嚴格,即使采用傳統(tǒng)清潔法中精

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