AlN薄膜對太陽能吸收率的研究

【摘要】：采用磁控濺射方法,在高純氬氣和氮氣混合氣氛下成功制備出Al(W)-AlN系太陽能選擇性吸收薄膜。借助吸收光譜分析,比較了Al、W兩種反射層材料上制備單層AlN和多層AlN薄膜的光譜吸收特性。結(jié)果表明:多層AlN薄膜比單層AlN薄膜的吸收性能好;W比Al更適合做反射面材料,W-漸變型多層AlN膜系對太陽能的吸收率可達到80%以上。 【作者單位】： 大連理工大學(xué)三束材料改性實驗室材料科學(xué)與工程學(xué)院;蘭州物理所表面工程國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 磁控濺射 物理氣相沉積 AlN薄膜 選擇性吸收膜
【基金】：表面工程技術(shù)國家級重點實驗室基金項目(9140C540105080C5402)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 0引言地球大氣上層的太陽輻射光譜的波長基本都在0.15～4.0μm之間。在這段波長范圍內(nèi),又可分為3個主要區(qū)域,即波長較短的紫外光區(qū)、波長較長的紅外光區(qū)和介于二者之間的可見光區(qū)。太陽輻射能量主要分布在可見光區(qū)和紅外光區(qū),其中約50%的太陽輻射能量在可見光譜區(qū)(波長0.4～0.

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