AZO薄膜刻蝕形貌優(yōu)化及其在硅基薄膜雙結(jié)太陽能電池中的應(yīng)用

【摘要】：采用磁控濺射結(jié)合酸腐蝕法制備摻鋁氧化鋅透明導(dǎo)電氧化物薄膜,研究關(guān)鍵濺射工藝參數(shù)對AZO薄膜腐蝕后性能的影響。研究發(fā)現(xiàn),在較低沉積溫度和較大濺射壓強(qiáng)條件下,樣品腐蝕后可以形成粗糙度和霧度更大的表面形貌,有利于提高電池性能;而濺射功率增加,雖然能提升樣品腐蝕后的粗糙度,但霧度的增加則呈現(xiàn)飽和趨勢。將具有優(yōu)良光電性能、不同霧度的AZO薄膜作為前電極制備非晶/微晶硅薄膜雙結(jié)太陽能電池,發(fā)現(xiàn)霧度越大,電池的短路電流密度越大,特別是底電池電流密度越大,從而電池的光電轉(zhuǎn)換效率也獲得提高。這一發(fā)現(xiàn)有助于通過優(yōu)化濺射工藝參數(shù)來改進(jìn)AZO薄膜表面形貌和電池性能。 【作者單位】： 新奧光伏能源有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 摻鋁氧化鋅薄膜 磁控濺射 粗糙度 短路電流密度
【分類號】：O484.1
【正文快照】： 1引言透明導(dǎo)電氧化物薄膜具有禁帶寬度大和導(dǎo)電性好的特性,并且在可見光波長范圍內(nèi)具有良好的透過率,已在硅基薄膜太陽能電池領(lǐng)域得到了廣泛關(guān)注、研究和應(yīng)用。目前,摻氟氧化錫透明導(dǎo)電薄膜(FTO)作為前電極制作的硅基薄膜太陽能電池,已形成產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn);摻鋁氧化鋅透明導(dǎo)電薄膜(

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