應(yīng)用于無源UHF RFID標(biāo)簽的CMOS兼容集成微型太陽能電池研究

【摘要】：在標(biāo)準(zhǔn)CMOS工藝下,設(shè)計了一種與CMOS工藝兼容的片上集成太陽能電池陣列,通過從外部環(huán)境收集光能為UHF射頻識別(RFID)標(biāo)簽供電。采用SMIC 0.18μm CMOS工藝制備出太陽能電池陣列,其面積約為0.2mm2;在AM1.5、1 000W/m2、25℃標(biāo)準(zhǔn)測試條件下,測得最大輸出功率為10.212μW,短路電流和開路電壓分別為28.763μA和0.458V,光電轉(zhuǎn)換效率為5.106%。相對于常規(guī)Si太陽能電池復(fù)雜的制造工藝,本文太陽能電池陣列與CMOS工藝相兼容,可與電路系統(tǒng)集成從而實現(xiàn)片上供電。 【作者單位】： 天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 射頻識別(RFID)標(biāo)簽 CMOS 微型太陽能電池 片上集成
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61072010)資助項目
【分類號】：TM914.4
【正文快照】： 1引言隨著射頻識別(RFID)標(biāo)簽技術(shù)的不斷發(fā)展,RFID標(biāo)簽功耗和尺寸均不斷減小,集成度和功能不斷提高,使得RFID標(biāo)簽的應(yīng)用越來越廣泛。RFID標(biāo)簽分為有源RFID標(biāo)簽和無源RFID標(biāo)簽,其中有源標(biāo)簽使用普通電池或電源供電,因有電源供電,其性能好,功能全,缺點是體積大,成本高。無源標(biāo)

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