電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定太陽能級多晶硅中雜質(zhì)元素

【摘要】：多晶硅樣品經(jīng)氫氟酸和硝酸混合酸消解,采用電感耦合等離子體質(zhì)譜法測定所得樣品溶液中23種雜質(zhì)元素的含量。通過調(diào)整分辨率來調(diào)整多原子離子對部分被測元素的干擾。方法的檢出限(3s)在0.3～19.7ng.g-1之間。方法用于太陽能級多晶硅樣品中23種元素的測定,回收率在85.2%～111%之間,相對標(biāo)準(zhǔn)偏差(n=11)在0.9%～4.6%之間。 【作者單位】： 上海市計量測試技術(shù)研究院;
【關(guān)鍵詞】： 電感耦合等離子體質(zhì)譜法 太陽能級多晶硅 雜質(zhì)元素
【基金】：國家科技部資助項(xiàng)目(2009IM032300)
【分類號】：TM914.4;O657.63
【正文快照】： 晶體硅材料(包括多晶硅和單晶硅)是最主要的太陽能光伏材料,其市場占有率在90%以上,而且在今后相當(dāng)長的一段時期也依然是太陽能電池的主流材料[1]。多晶硅中存在的少量金屬雜質(zhì)在硅禁帶中引入了深能級,成為光生少數(shù)載流子的復(fù)合中心,減短了少數(shù)載流子壽命,從而嚴(yán)重影響太陽電

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