選擇性電極型晶硅太陽能電池金屬柵線印刷位置精度的檢測方法

【摘要】：本文提出一種金屬柵線印刷位置的檢測方法,適用于直接檢測金屬柵線印刷位置與選擇性重擴(kuò)散柵線印刷區(qū)的重合精度,可以實時在線檢測柵線印刷位置精度并反饋偏差值,實現(xiàn)對位印刷的閉環(huán)控制。該檢測方法同時也為采用圖形識別技術(shù)和圖形對位技術(shù)的選擇性電極型晶硅太陽能電池絲網(wǎng)印刷設(shè)備提供了可直觀衡量設(shè)備印刷精度的驗證方法。此外,利用該檢測方法可以實現(xiàn)對網(wǎng)板使用壽命的監(jiān)測,提高網(wǎng)板和絲網(wǎng)印刷設(shè)備的使用率,降低生產(chǎn)成本,簡化工藝控制。 【作者單位】： 遼寧省葫蘆島市信息中心;浙江省鴻禧光伏科技股份有限公司;德國JRT光伏技術(shù)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 選擇性電極 晶硅太陽能電池 金屬柵線 印刷位置精度
【分類號】：TM914.41
【正文快照】： 選擇性電極型晶硅太陽能電池通過提高柵線印刷區(qū)載流子擴(kuò)散濃度來降低金屬柵線與電池片的接觸電阻,從而提高電池片光電轉(zhuǎn)換效率,其工藝關(guān)鍵點在于金屬柵線印刷位置與重擴(kuò)區(qū)的重合精度。目前量產(chǎn)技術(shù)已經(jīng)可以識別并參照重擴(kuò)區(qū)位置進(jìn)行柵線印刷,而后,由于無法在線準(zhǔn)確測量柵線相

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