非晶硅薄膜太陽能電池的紫外激光制絨工藝

【摘要】：為了提高非晶硅薄膜電池的轉(zhuǎn)換效率和穩(wěn)定性,采用納秒紫外激光進(jìn)行透明導(dǎo)電薄膜制絨,改變激光工藝參數(shù),研究激光功率密度、重復(fù)頻率、刻蝕速度和填充間距對(duì)透明導(dǎo)電薄膜電學(xué)、光學(xué)和晶體結(jié)構(gòu)特性的影響;并根據(jù)不同制絨方式制備電池,比較其輸出性能。實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明:當(dāng)激光功率密度P=0.85×105 W/cm2,刻蝕速度v=600mm/s,重復(fù)頻率f=50kHz,填充間距Δd=0.012mm時(shí),獲得薄膜方塊電阻較小,陷光效果良好的絨面結(jié)構(gòu),有效地增強(qiáng)了電池吸收率,提高了電池的轉(zhuǎn)換效率。 【作者單位】： 華南師范大學(xué)廣東省微納光子功能材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;廣東工業(yè)大學(xué)物理與光電工程學(xué)院;華南理工大學(xué)機(jī)械與汽車工程學(xué)院;深圳市大族激光科技股份有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 光電子學(xué) 激光制絨 陷光效應(yīng) 方塊電阻 總透射率 絨度
【基金】：國(guó)家863計(jì)劃(2012AA040210) 中央財(cái)政支持地方高校專項(xiàng)資金項(xiàng)目激光先進(jìn)制造創(chuàng)新培養(yǎng)基地(510-C10293) 粵港關(guān)鍵技術(shù)招標(biāo)東莞專項(xiàng)(20092052060010) 廣東省教育部產(chǎn)學(xué)研結(jié)合重點(diǎn)項(xiàng)目(2010A090200048) 廣東省教育廳學(xué)科建設(shè)專項(xiàng)(C10360) 華南理工大學(xué)國(guó)家金屬材料近凈成形工程技術(shù)研究中心開放基金(2011006)
【分類號(hào)】：TM914.42
【正文快照】： 1引言大量的理論和實(shí)驗(yàn)研究證明薄膜表面形貌對(duì)電池內(nèi)形成有效的陷光結(jié)構(gòu)非常重要[1],一種有效的絨面結(jié)構(gòu)能夠提高電池內(nèi)部粗糙界面的反射,形成陷光效應(yīng),從而提高電池的吸收率[2-4]。目前常用的薄膜制絨方式是利用磁控濺射,然后經(jīng)過濕化學(xué)刻蝕制備。Kluth等[5]報(bào)道經(jīng)質(zhì)量分?jǐn)?shù)(

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