等離子體預(yù)處理對于太陽能電池性能的影響

【摘要】：在這個研究中,我們驗證等離子體預(yù)處理對太陽能電池性能的影響,也就是SiNx:H層的性能。我們發(fā)現(xiàn)預(yù)處理的時間對于沉積物SiNx:H層影響比較小,較短的PECVD預(yù)處理時間,其鈍化作用相對于長時間預(yù)處理更加有效。同時,預(yù)處理時間在300秒范圍內(nèi)對于太陽能板的效率起著次要作用。 【作者單位】： 西安黃河光伏科技股份有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 太陽能板 鈍化 PECVD SiNx H
【分類號】：TM914.4
【正文快照】： 1介紹表面鈍化對于提高太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率至關(guān)重要。很多絕緣層(電介質(zhì))被運用到表面鈍化的研究中,例如Al2O3[1-2],a-Si[3],SiC-H[4-5],SiO2[6]等等。SiNx:H表層具有減反射和鈍化的作用[1],在優(yōu)化硅片表面已經(jīng)成為了現(xiàn)代光伏技術(shù)中非常重要的部分。SiNx:H薄膜不僅可以降低

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