薄膜太陽(yáng)能電池異型布拉格背反射結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制作

【摘要】：根據(jù)多光束干涉原理設(shè)計(jì)出用于薄膜太陽(yáng)能電池的異型布拉格背反射器(IDBR)。該異型布拉格背反射結(jié)構(gòu)由兩對(duì)非晶硅(36.5 nm)/二氧化硅(81 nm)分布式布拉格反射器(DBR)結(jié)構(gòu)與三對(duì)非晶硅(73 nm)/二氧化硅(162 nm)DBR結(jié)構(gòu)組合而成。討論了不同結(jié)構(gòu)的背反射器性能,分析了IDBR中心波長(zhǎng)與層數(shù)的選擇依據(jù)。采用迭代法計(jì)算了IDBR的反射性能。用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)在硅襯底上生長(zhǎng)出具有5對(duì)α-Si:H/SiO2結(jié)構(gòu)的IDBR,并測(cè)試其反射光譜曲線。實(shí)驗(yàn)證明該反射器在420～1400 nm的光譜范圍內(nèi)設(shè)計(jì)反射率達(dá)到87%,在600～1300 nm波長(zhǎng)范圍內(nèi)的平均反射率高達(dá)91.6%,從而具有顯著提高太陽(yáng)能電池的寬譜吸收效率的潛力。 【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所;中國(guó)科學(xué)院研究生院;
【關(guān)鍵詞】： 薄膜 薄膜太陽(yáng)能電池 異型布拉格背反射鏡 迭代法 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積
【基金】：上海-應(yīng)用材料研究與發(fā)展基金(09520714700) 上海市自然科學(xué)基金(09ZR1437500) 新泰研究與發(fā)展課題基金(2009-07)資助課題
【分類號(hào)】：TM914.4
【正文快照】： 1引言薄膜太陽(yáng)能電池與體硅太陽(yáng)能電池相比,具有大面積、低成本和柔性化等多項(xiàng)優(yōu)勢(shì)。薄膜太陽(yáng)能電池一般可以在價(jià)格低廉的玻璃、塑料、陶瓷和金屬片等不同的材料基板上生長(zhǎng)?？梢杂没瘜W(xué)氣相沉積、直流輝光放電和濺射等方法實(shí)現(xiàn)大面積生長(zhǎng)。由于薄膜太陽(yáng)電池的吸收層比較薄,通

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