常壓化學氣相沉積法制備氟摻雜TiO_2自清潔薄膜

【摘要】：以四異丙醇鈦[Ti(OC3H7)4,TTIP]和三氟乙醇(CF3CH2OH,TFE)為前驅(qū)體,采用常壓化學氣相沉積制備了氟(F)摻雜TiO2自清潔薄膜。通過掃描電鏡、X射線衍射、紫外-可見透射光譜等手段對樣品進行分析,研究了前驅(qū)體TFE的流量與薄膜性能之間的關(guān)系。結(jié)果表明:前驅(qū)體TFE的引入會在TiO2中摻入F并抑制薄膜中銳鈦礦相的形成。光催化性能和親水性能測試表明,沉積F摻雜TiO2薄膜的最佳TFE流量為5.94L/min。 【作者單位】： 浙江大學材料科學與工程學系;杭州藍星新材料技術(shù)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 二氧化鈦 氟 摻雜 常壓化學氣相沉積 自清潔
【基金】：國家教育部博士點基金(20050335040)資助項目
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 近些年,TiO2因其出色的光催化性和親水性以及化學性質(zhì)穩(wěn)定,無毒,價格低廉等優(yōu)點而在光催化領(lǐng)域顯示出巨大的應(yīng)用前景。目前,TiO2薄膜的制備方法包括:溶膠-凝膠法,[1]磁控濺射法,[2]化學氣相沉積,[3]噴霧分解法[4]等。制備的TiO2薄膜光催化活性較低,限制了TiO2的實際應(yīng)用,[5]

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