低能重離子轟擊鈦鋁靶濺射原子能譜的理論

【摘要】：進(jìn)一步發(fā)展了文獻(xiàn)[8-9]的各項異性濺射理論,并運(yùn)用該理論研究了低能氬離子和氙離子分別轟擊鈦靶和鋁靶的濺射原子能量分布(或濺射原子能譜),以及濺射原子譜與離子入射角以及濺射原子出射角的關(guān)系。尤其對于氬離子轟擊鈦靶,作者只設(shè)置了唯一參數(shù),新理論就可以很好的解釋文獻(xiàn)[10]的大量實(shí)驗結(jié)果。當(dāng)然,分析中,新理論忽略了電子阻止的貢獻(xiàn)。對于較大的濺射原子出射角,理論值明顯小于實(shí)驗值,這可能是由于直接反沖對濺射原子譜的影響,因為新理論只適合于濺射碰撞級聯(lián),所以忽略了直接反沖的貢獻(xiàn)。新理論與文獻(xiàn)[10]大部分實(shí)驗相符這一事實(shí)進(jìn)一步證明了動量淀積在低能重離子碰撞濺射的重要作用,從而并進(jìn)一步指導(dǎo)離子碰撞濺射的各種應(yīng)用。 【作者單位】： 安徽理工大學(xué)計算機(jī)科學(xué)與技術(shù)系 安徽理工大學(xué)數(shù)理系
【關(guān)鍵詞】： 濺射產(chǎn)額 濺射產(chǎn)額能量分布 各向異性濺射
【基金】：安徽省教育廳自然科學(xué)基金重點(diǎn)資助項目(2005kj034ZD)
【分類號】：O539
【正文快照】： 引言眾所周知,離子濺射是許多現(xiàn)代高新技術(shù)的基礎(chǔ)。早在上世紀(jì)初人們就開始對濺射現(xiàn)象進(jìn)行了研究。濺射現(xiàn)象與粒子不僅同固體表面相互作用的各種物理過程直接相關(guān),而且還有著重要的實(shí)際應(yīng)用,如聚變反應(yīng)堆的壁效應(yīng)、薄膜沉積和表面分析、離子加工和離子表面改性、空間物理等。1

您可以在本站搜索以下學(xué)術(shù)論文文獻(xiàn)來了解更多相關(guān)內(nèi)容