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多晶硅生產(chǎn)中節(jié)能和提高原料利用率初探

來源:論文學(xué)術(shù)網(wǎng)
時(shí)間:2024-08-20 11:50:26
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多晶硅生產(chǎn)中節(jié)能和提高原料利用率初探【摘要】:正 一前言目前,我國(guó)用三氯氫硅氫還原法生產(chǎn)的半導(dǎo)體用高純多晶硅在質(zhì)量上已基本能滿足電子工業(yè)的要求。去年開始還出口幾十噸。但是生產(chǎn)成本仍

【摘要】:正 一前言目前,我國(guó)用三氯氫硅氫還原法生產(chǎn)的半導(dǎo)體用高純多晶硅在質(zhì)量上已基本能滿足電子工業(yè)的要求。去年開始還出口幾十噸。但是生產(chǎn)成本仍較高,各廠之間的差距也較大。多晶硅是一種高能耗產(chǎn)品,在成本構(gòu)成中,電能和三氯氫硅單耗所占比重最大。我廠80年分別為29.8%和27.9%,兩項(xiàng)合計(jì)57.7%。由此可見,節(jié)能和提高三氯氫硅利用率是降 【作者單位】
【關(guān)鍵詞】多晶硅 原料利用率 玻璃制品 綜合利用 三氯氫硅氫還原法 蒸汽加熱 回收液 人造石英 節(jié)能 生產(chǎn)成本
【正文快照】: 一RlJ舌 目前,我國(guó)用三氯氫硅氫還原法生產(chǎn)的半導(dǎo)體用高純多晶硅在質(zhì)量上已基本能滿足電子工業(yè)的要求。去年開始還出口幾十噸。但是生產(chǎn)成本仍較高,各廠之間的差距也較大。多晶硅是一種高能耗產(chǎn)品,在成本構(gòu)成中,電能和三氯氫硅單耗所占比重最大。我廠80年分別為29.8%和27.9%,

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