適用于半導體工廠的節(jié)能空調系統(tǒng)——(FMU方式的評價)

【摘要】：正 一般來講,一座半導體工廠一年消耗的總電量大約為1億kWh,其中43％是被空氣調節(jié)設備的運轉消耗掉了。這是由于潔凈室的潔凈度要求所致。尤其空氣輸送動力方面消耗電能最多。在本公司全面垂直層流方式的潔凈室內(nèi),以降低空氣輸送動力為目標,建造了模塊式風機單元(FMU)方式的空調系統(tǒng),將這一系統(tǒng)引入到最新的半導體制造工廠。引入的空調系統(tǒng),屬于FMU方式的送 【作者單位】： 電子部計算機與微電子發(fā)展研究中心
【關鍵詞】： 潔凈室 節(jié)能空調系統(tǒng) 送風機 空氣循環(huán)系統(tǒng) 過濾器 空氣輸送 潔凈度要求 半導體 流方式 垂直層
【分類號】：TU831.3
【正文快照】： 一般來講,一座半導體工廠一年消耗的總電量大約為1億k研飛,其中43%是被空氣調節(jié)設備的運轉消耗掉了。這是由于潔凈室的潔凈度要求所致。尤其空氣輸送動力方面消耗電能最多。在本公司全面垂直層流方式的潔凈室內(nèi),以降低空氣輸送動力為目標,建造了模塊式風機單元(FMU)方式的空

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