潔凈廠房運行管理中的節(jié)能問題

【摘要】：本文根據(jù)運行管理的實踐體會,討論了空調(diào)凈化廠房運行管理中節(jié)能的若干問題。通過空氣狀態(tài)參數(shù)分析及其與空調(diào)能耗相互關(guān)系的探討,在潔凈空調(diào)廠房運行中采取了適當(dāng)?shù)墓?jié)能措施,以確保在滿足工藝生產(chǎn)要求的前提下,將空調(diào)能耗水平降到最低。文章最后以數(shù)據(jù)統(tǒng)計方式,考察了2003 年全年和2004年1月至7月同期的空調(diào)能耗狀況,闡述了上述諸多節(jié)能措施的實際節(jié)能效果。 【作者單位】： 中國電子科技集團公司第58研究所 中國電子科技集團公司第58研究所 中國電子科技集團公司第58研究所
【關(guān)鍵詞】： 潔凈廠房 運行管理 節(jié)能 上限控制 中值控制
【分類號】：TN305
【正文快照】： 1前言 眾所周知,作為微電子工藝用凈化廠房的空調(diào)系 統(tǒng),其耗能之巨是相當(dāng)驚人的。據(jù)資料介紹[’1,一 個普通的半導(dǎo)體工廠每年消耗電能至少1億度,其中 潔凈廠房的通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)運行能耗約占46%。因而在 能源日益緊俏的今天,潔凈廠房通風(fēng)空調(diào)系統(tǒng)運行節(jié) 能問題已越來越引起了人

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