GD-MS法測定太陽能級(jí)多晶硅中痕量雜質(zhì)元素含量

【摘要】：采用輝光放電質(zhì)譜法(GD-MS)測定太陽能級(jí)多晶硅中B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti等20個(gè)痕量雜質(zhì)元素。研究了GD-MS測定多晶硅的預(yù)濺射時(shí)間,優(yōu)化和選擇了儀器的工作參數(shù)、分辨率和用于分析的待測元素同位素。并將分析結(jié)果與電感耦合等離子體質(zhì)譜法(ICP-MS)的分析結(jié)果進(jìn)行對照以驗(yàn)證GD-MS無標(biāo)分析的準(zhǔn)確程度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,GD-MS法對B、Na、Mg、Al、K、Ca、Ti等元素測定結(jié)果的相對標(biāo)準(zhǔn)偏差(RSD)都小于25%,二者測定結(jié)果基本一致。 【作者單位】： 昆明冶金研究院;
【關(guān)鍵詞】： 太陽能級(jí)多晶硅 輝光放電質(zhì)譜法 準(zhǔn)確度 精密度
【分類號(hào)】：O657.63;TQ127.2
【正文快照】： 太陽能級(jí)多晶硅是重要的半導(dǎo)體材料,廣泛用于光伏、電子行業(yè)[1]。對多晶硅的整個(gè)生產(chǎn)制備流程和其產(chǎn)品應(yīng)用性能來說,掌握多晶硅中微量元素的實(shí)際含量是非常重要的,對是否能生產(chǎn)出合格的、性能穩(wěn)定的產(chǎn)品是至關(guān)重要的,多晶硅中微量元素對多晶硅的品質(zhì)起決定性的作用[2]。電感耦

您可以在本站搜索以下學(xué)術(shù)論文文獻(xiàn)來了解更多相關(guān)內(nèi)容

太陽能級(jí)多晶硅標(biāo)準(zhǔn)的現(xiàn)狀及發(fā)展    靳瑞敏;郭新峰;陳蘭莉;羅鵬輝;鄭小燕;

GD-MS法和ICP-MS法測定高純鈮中痕量元素    李寶城;劉英;童堅(jiān);李繼東;李艷芬;臧慕文;

GDMS法和ICP-MS法測定太陽能級(jí)多晶硅中雜質(zhì)元素含量    張金娥;劉英;臧慕文;李繼東;童堅(jiān);劉紅;李愛嫦;

太陽能級(jí)多晶硅制備技術(shù)與工藝    馮瑞華;馬廷燦;姜山;黃可;

輝光放電質(zhì)譜分析技術(shù)的應(yīng)用進(jìn)展    余興;李小佳;王海舟;

輝光放電質(zhì)譜應(yīng)用和定量分析    徐常昆;周濤;趙永剛;

太陽能級(jí)多晶硅生產(chǎn)與發(fā)展概況    徐華畢;沈輝;梁宗存;

冶金法制備太陽能級(jí)多晶硅新工藝原理及研究進(jìn)展    呂東;馬文會(huì);伍繼君;楊斌;戴永年;

太陽電池用多晶硅及其吸雜研究現(xiàn)狀    吳洪軍;陳秀華;馬文會(huì);梅向陽;蔣詠;

雙電離源(輝光放電/激光濺射電離)四極桿質(zhì)譜儀的研制    李靈鋒;李衛(wèi)峰;王小華;杭緯;黃本立;

金屬材料分析    馬沖先;李莎莎;王巖;

制備太陽能級(jí)多晶硅的工藝研究進(jìn)展    謝樺;

太陽能級(jí)多晶硅材料研究進(jìn)展    鐵生年;李昀珺;李星;

改良西門子法生產(chǎn)多晶硅工藝設(shè)計(jì)探討    楊濤;

改良西門子法生產(chǎn)多晶硅污染物排放調(diào)查    閆維東;王秀鳳;馬娟;

太陽能級(jí)多晶硅生產(chǎn)技術(shù)研究現(xiàn)狀及展望    王新剛;

太陽能級(jí)硅制備技術(shù)與除硼工藝研究現(xiàn)狀    王燁;伍繼君;馬文會(huì);楊斌;戴永年;Kazuki Morita;

制備太陽能級(jí)硅工藝進(jìn)展    郭寬新;陳秀華;馬文會(huì);梅向陽;唐紹雨;魏奎先;

電子束熔煉提純多晶硅的研究    姜大川

氟化物熔鹽體系中Si的電化學(xué)提取與提純    賈明

激光電離質(zhì)譜元素成像系統(tǒng)建立及應(yīng)用與高功率飛秒激光與固體作用過程中基體效應(yīng)機(jī)理研究    張伯超

碳熱還原歧化法制備高品質(zhì)硅的實(shí)驗(yàn)研究    呂東

多晶硅產(chǎn)業(yè)可持續(xù)發(fā)展研究    張亞宏

真空感應(yīng)熔煉和定向凝固提純冶金級(jí)硅研究    冀明

電子束熔煉冶金硅中雜質(zhì)蒸發(fā)行為研究    彭旭

工業(yè)硅的冶金法提純研究    單繼周

熔鹽電解二氧化硅制備硅的研究    陳家輝

低溫熔鹽電解石英光纖廢料制備太陽能級(jí)硅的研究    劉儀柯

工業(yè)硅定向凝固提純研究    張慧星

冶金法提純多晶硅過程中氮化硅涂層的研究    劉美

晶體硅微粉的氧化性質(zhì)研究    鐘根香

磷鋁吸雜在多晶硅太陽電池中的應(yīng)用    趙慧,徐征,勵(lì)旭東,李海玲,許穎,趙玉文,王文靜

鑄造多晶硅中鐵的磷吸雜和氫鈍化機(jī)理    陳金學(xué),席珍強(qiáng),吳冬冬,楊德仁

太陽能電池研究和發(fā)展現(xiàn)狀    毛愛華

太陽能電池及材料研究    梁宗存,沈輝,李戩洪

鑄造多晶硅的研究進(jìn)展    席珍強(qiáng),楊德仁,陳君

太陽能光伏技術(shù)的研究與發(fā)展    薛鈺芝,張力,林紀(jì)寧

太陽能級(jí)多晶硅中痕量金屬雜質(zhì)含量的ICP-MS測定    劉志娟;褚連青;何秀坤;曹全喜;

輝光放電質(zhì)譜法在無機(jī)非金屬材料分析中的應(yīng)用    陳剛,葛愛景,卓尚軍,王佩玲

輝光放電質(zhì)譜新方法分析顆粒狀金屬鉿    錢榮;斯琴畢力格;卓尚軍;申如香;盛成;干福熹;

淀積在硅片上起雜質(zhì)吸除用的多晶硅的研究    閔靖,鄒子英,李積和,陳青松,周子美,陳一