SMIF/微環(huán)境的應(yīng)用及節(jié)能分析

【摘要】：在大面積潔凈室內(nèi)引入SMIF/微環(huán)境系統(tǒng)能在更好的滿足工藝潔凈等級(jí)的要求下,起到節(jié)能的效果。分析總結(jié)了影響SMIF/微環(huán)境系統(tǒng)的主要參數(shù)以及提出了這些參數(shù)的建議取值范圍、具體分析了在引入SMIF/微環(huán)境系統(tǒng)后所帶來(lái)的節(jié)能效果(通過(guò)降低微環(huán)境內(nèi)的風(fēng)機(jī)能耗以及系統(tǒng)內(nèi)氣流組織的優(yōu)化,其最大節(jié)能效果可達(dá)60-86%)。 【作者單位】： 東華大學(xué)建筑環(huán)境與設(shè)備工程;上海工程技術(shù)大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： SMIF 微環(huán)境 潔凈室 潔凈標(biāo)準(zhǔn) 電量密度
【分類號(hào)】：TN405
【正文快照】： 0引言隨著現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)技術(shù)的飛速發(fā)展,集成電路的特征尺寸越做越小,這使得微小顆粒物對(duì)于半導(dǎo)體硅片的成品率的影響也越來(lái)越大,為滿足工藝要求需要不斷提高室內(nèi)潔凈等級(jí)。但是一般的半導(dǎo)體潔凈工廠其生產(chǎn)工藝所需的潔凈面積往往只占總面的一小部分,因而采用提高整個(gè)廠房的

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