MEMS質(zhì)量流量計在城市天然氣計量的應(yīng)用

【摘要】：介紹了微機械電子系統(tǒng)(MEMS)質(zhì)量流量計的構(gòu)造、工作原理、技術(shù)特性,探討了MEMS質(zhì)量流量計的校準(zhǔn)、對前直管段的要求、可靠性和溫度性能,實流檢測及實際應(yīng)用。膜式表和MEMS質(zhì)量流量計的實際應(yīng)用效果對比顯示,MEMS質(zhì)量流量計比膜式表測量相對誤差小,始動流量小。 【作者單位】： 重慶凱源石油天然氣有限責(zé)任公司;矽翔微機電系統(tǒng)(上海)有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 微機械電子系統(tǒng) 質(zhì)量流量計 膜式表 實流檢測
【分類號】：TH814.6
【正文快照】： 1微機械電子系統(tǒng)(MEMS)簡介微機械電子系統(tǒng)(Micro Electro Mechanical Sys-tem)簡稱MEMS,是采用現(xiàn)代加工工藝和材料生長及合成技術(shù)制造的具有機械、電子及其他物理特性的微系統(tǒng)。大多數(shù)微機械電子系統(tǒng)是借用了大規(guī)模集成電路的主要工藝構(gòu)筑在硅片上的,因此也稱為微機電系統(tǒng)芯

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