電子級(jí)六氟乙烷的色譜分析

【摘要】：使用氦離子化色譜儀對(duì)電子級(jí)六氟乙烷進(jìn)行分析,結(jié)果顯示本實(shí)驗(yàn)方法很好的實(shí)現(xiàn)了電子級(jí)六氟乙烷雜質(zhì)的色譜全分析,并且為建立電子級(jí)六氟乙烷標(biāo)準(zhǔn)提供實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。 【作者單位】： 上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司;西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司;浙江省化工研究院;
【關(guān)鍵詞】： 氣相色譜儀 電子工業(yè)氣體 電子級(jí)六氟乙烷 氦離子色譜法
【分類號(hào)】：O657.7;TQ222.23
【正文快照】： 六氟乙烷又稱全氟乙烷,是乙烷中六個(gè)氫原子全部被氟原子取代后的產(chǎn)物,其又名氟碳116,CAS編號(hào)為76-16-4。六氟乙烷為無色無嗅無味不可燃的無毒氣體,比空氣重得多,基本不溶于水,微溶于醇,其物理化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定。六氟乙烷主要應(yīng)用在低溫制冷與電子清洗及蝕刻行業(yè),另外少部分應(yīng)用在

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