光伏HgCdTe混合焦平面列陣的性能

【摘要】：第二代紅外成象系統(tǒng)要求高密度的焦平面列陣便于凝視成象應(yīng)用。為滿足此需要,研制了光電二極管HgCdTe探測器和信號處理Si—CCD器件相組合的焦平面結(jié)構(gòu)。通常用的離子注入混合列陣與CCD多路傳輸器雖然已成功地實現(xiàn)互連,但是用液相外延(LPE)層制備的混合列陣在性能、信號處理和輸出效率方面具有獨特的優(yōu)點。采用富汞LPE技術(shù)制備的異質(zhì)結(jié)二極管,其性能優(yōu)于一般的離子注入器件。這種器件的面電阻高,組分均勻性好。本文就8—12μm和3—5μm波段范圍所用器件的制備情況作簡要介紹。 【關(guān)鍵詞】： 焦平面列陣 光電二極管 異質(zhì)結(jié)二極管 硼離子注入 光伏 性能 列陣器件 信號處理 探測器 混合
【正文快照】： 者只引言 ·光伏Hg劍刃。租混合率毛平面列陣(HF尸月)“技禾的錄新發(fā)展使得這類密件的性能大大提高。本文簡要地介紹圣巴巴拉研究中心(SBRC)研制光伏Hg:_。CdoTe凝視月尹尸月的一些進展情況。 混合焦平而列陣器件是將優(yōu)質(zhì)的HgCdT。光電二極管和可靠性高的32x32元直接注入Sf,C

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