BF工藝在光伏型銻化銦列陣探測器制備中的應(yīng)用

【摘要】：正 本文報(bào)道在制備光伏型InSb列陣探測器時(shí)采用BF工藝,使器件的串音率和光敏元邊緣效應(yīng)得到改善的結(jié)果。多元列陣器件中的串音現(xiàn)象嚴(yán)重地影響著紅外探測系統(tǒng)的靈敏度和紅外成象的質(zhì)量。趙文琴等曾用H~+轟擊的方法取得了較好的隔離效果,但實(shí)際應(yīng)用有困難。我們采用BF工藝獲得了更為滿意的結(jié)果。實(shí)驗(yàn)證實(shí),BF工藝是解決多元列陣器件串音及單元光敏面 【作者單位】： 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所
【關(guān)鍵詞】： 常規(guī)工藝 列陣探測器 臺面 質(zhì)量 列陣器件 光敏元 工藝制作 銻化銦 串音 紅外探測系統(tǒng)
【正文快照】： 本文報(bào)道在制備光伏型Insb列陣探測器時(shí)采用BF工藝,使器件的串音率和光敏元邊緣效應(yīng)得到改善的結(jié)果。 多元列陣器件中的串音現(xiàn)象嚴(yán)重地影響著紅外探測系統(tǒng)的靈敏度和紅外成象的質(zhì)量。趙文琴山等曾用H+轟擊的方法取得了較好的隔離效果,但實(shí)際應(yīng)用有困難。我們采用BF工藝獲得了

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