淺結(jié)硅光伏電池光響應(yīng)特性實(shí)驗(yàn)研究

【摘要】：實(shí)驗(yàn)研究了電子束輻照誘導(dǎo)半導(dǎo)體摻雜技術(shù)制作的淺結(jié)硅光伏電池光響應(yīng)特性。給出其相對(duì)光譜響應(yīng)和激光感生光電壓值。結(jié)果表明該器件具有較好的光響應(yīng)特性。 【作者單位】： 北京大學(xué)物理學(xué)系 北京大學(xué)物理學(xué)系 北京大學(xué)物理學(xué)系
【關(guān)鍵詞】： 淺結(jié) 硅光伏電池 光響應(yīng)
【正文快照】： 1引言 光探測(cè)器是科學(xué)_技術(shù)領(lǐng)域基礎(chǔ)元器件之一,其中硅光伏電池是經(jīng)濟(jì)耐用而應(yīng)用廣泛的應(yīng)用型器件〔‘,”,但其性能因制備工藝水平不同而差異甚大,而且大規(guī)模集成化也較為困難。近年來發(fā)展的電子束輻照誘導(dǎo)半導(dǎo)體摻雜技術(shù),成功制作有一種淺結(jié)硅光伏電池。它具有接雜時(shí)間短、

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