SnO_2/PS/Si吸附氣體前后的光伏譜變化

【摘要】：制備了二氧化錫／ 多孔硅／ 硅（ＳｎＯ２／ＰＳ／Ｓｉ） 異質(zhì)結(jié)構(gòu)樣品，在不同溫度下，分別測量樣品吸附氫氣、液化石油氣前后的光生電壓譜。結(jié)合Ｘ 光電子能譜（ＸＰＳ） 測量結(jié)果，分析了光生電壓譜變化的機(jī)理 【作者單位】： 廈門大學(xué)物理系!廈門361005 廈門大學(xué)物理系!廈門361005 廈門大學(xué)物理系!廈門361005 廈門大學(xué)物理系!廈門361005 廈門大學(xué)物理系!廈門361005
【關(guān)鍵詞】： 半導(dǎo)體材料 雙異質(zhì)結(jié) 多孔硅 吸附氣體 光生電壓譜 X光電子能譜
【基金】：福建省自然科學(xué)基金
【分類號】：O471.4
【正文快照】： １　引言多孔硅（ＰＳ）是近年來發(fā)展起來的一種新型半導(dǎo)體材料，它的光致發(fā)光、電致發(fā)光引起人們極大的研究興趣［１，２］，它的氣敏特性及與硅形成的異質(zhì)結(jié)的光伏特性也頗受重視［３～５］。ＳｎＯ２是最常用的氣敏材料，它與ＰＳ／Ｓｉ結(jié)合形成ＳｎＯ２／ＰＳ／Ｓｉ雙異

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