Hg_(1-x)Cd_xTe光伏探測器的鈍化研究

【摘要】：用倒易二維點(diǎn)陣對HgCdTe光伏探測器鈍化及其熱處理行為進(jìn)行了研究,發(fā)現(xiàn)測射沉積的鈍化膜會引起HgCdTe的晶面彎曲,嚴(yán)重的會出現(xiàn)晶面扭曲和mosaic結(jié)構(gòu),而鈍化后的熱處理能改善MCT晶體的完整性.在不同的鈍化介質(zhì)層鈍化MCT的研究中發(fā)現(xiàn),ZnS鈍化層在高溫下并不穩(wěn)定,而CdTe鈍化層卻能保持較高的耐溫性能. 【作者單位】： 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理所功能材料器件中心 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理所功能材料器件中心 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理所功能材料器件中心 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理所功能材料器件中心 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理所功能材料器件中心 中國科學(xué)院上海技術(shù)物理所功能材料器件中心
【關(guān)鍵詞】： HgCdTe ZnS CdTe 鈍化 倒易二維點(diǎn)陣
【基金】：中國科學(xué)院知識創(chuàng)新工程資助項目(KGCX2SWJG06)
【分類號】：TN29
【正文快照】： 引言在Hg1-xCdxTe(MCT)光伏探測器工藝中,鈍化是比較關(guān)鍵的一步,所以,對鈍化前后MCT晶體結(jié)晶度的表征就顯得十分重要,但是這方面的研究報道甚少[1～4].在MCT薄膜生長工藝過程中,其結(jié)晶質(zhì)量常以X射線衍射搖擺曲線的半峰寬(FWHM)來衡量.對于理想體單晶,其搖擺曲線的半峰寬可以

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