光伏新材料——摻氮碳薄膜濺射制備技術(shù)及測(cè)試

【摘要】：介紹了采用氮?dú)怆x子束濺射 ,高純石墨為靶材 ,沉積摻氮碳薄膜的設(shè)備及工藝技術(shù)。對(duì)薄膜的沉積過程作了討論 ,采用 X射線光電子能譜 (XPS)技術(shù)等對(duì)薄膜結(jié)構(gòu)成分、氮 -碳、碳 -碳原子之間的鍵以及結(jié)合能作了研究 ,在 (1 1 1 )單晶硅片上沉積摻氮碳薄膜 ,構(gòu)成 C/Si異質(zhì)結(jié) ,在 1 0 0 m W/cm2 光照下 ,開路電壓達(dá) 2 0 0 m V。 【作者單位】： 上海交通大學(xué)分析測(cè)試中心 上海交通大學(xué)物理系太陽(yáng)能研究所 上海交通大學(xué)物理系太陽(yáng)能研究所 上海交通大學(xué)物理系太陽(yáng)能研究所 上海交通大學(xué)物理系太陽(yáng)能研究所
【關(guān)鍵詞】： 摻氮碳薄膜 X射線光電子能譜 碳/硅異質(zhì)結(jié)
【分類號(hào)】：TM914
【正文快照】： 1　引　　言隨著人類社會(huì)的不斷發(fā)展 ,能源顯得尤為重要 ,當(dāng)污染成為不可忽視的災(zāi)難時(shí) ,尋找無污染的綠色能源已經(jīng)迫在眉睫 ,太陽(yáng)能的利用是個(gè)很有價(jià)值的研究課題 ,太陽(yáng)能電池 ,這一綠色能源的開發(fā)有十分廣闊的應(yīng)用前景。人們通過努力已成功地制成了單晶硅、多晶硅的太陽(yáng)電池

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光伏新材料——摻氮碳薄膜濺射制備技術(shù)及測(cè)試    丁正明,周之斌,崔容強(qiáng),孫鐵囤,賀振宏

    

    

    

    

    

    

    

    

    

濺射沉積光伏材料-摻氮碳薄膜    丁正明;周之斌;崔容強(qiáng);胡宏勛;孫鐵囤;賀振宏;