TiO_2/n-Si/p-Si及n-PS/p-PS/Si的光伏特性

【摘要】：在拋光的p型單晶硅上通過擴散工藝制備pn結(jié),采用此種硅片利用陽極腐蝕法制備多孔硅(PS)。用磁控濺射鍍膜機在有pn結(jié)的單晶硅表面鍍上一層TiO2納米結(jié)構(gòu)薄膜,并用表面光電壓譜(SPS)研究了n-PS/p-PS/Si和TiO2/n-Si/p-Si的表面光伏特性。結(jié)果表明TiO2/n-Si/p-Si和n-PS/p-PS/Si的光伏效應(yīng)比n-Si/p-Si在不同程度上有所提高。在300~600℃熱處理溫度范圍內(nèi)TiO2/n-Si/p-Si的光伏效應(yīng)隨溫度的升高而增強,600~800℃范圍內(nèi)隨溫度的升高而降低。 【作者單位】： 新疆大學物理科學與技術(shù)學院 新疆大學信息科學與工程學院 新疆大學物理科學與技術(shù)學院
【關(guān)鍵詞】： n-PS/p-PS/Si TiO/n-Si/p-Si n-Si/p-Si 光伏效應(yīng)
【基金】：國家自然科學基金資助項目(60267001) 中國科學院“西部之光”項目 新疆維吾爾自治區(qū)高?？茖W研究計劃項目
【分類號】：O475
【正文快照】： 1引言多孔硅因具有特殊的光電性能,已成為新型功能材料研究的熱點。納米TiO2薄膜具有其他材料無法比擬的光電轉(zhuǎn)換和電荷傳輸?shù)劝雽?dǎo)體特性,在太陽電池、傳感器等領(lǐng)域的應(yīng)用引人注目[1]。制備TiO2薄膜的方法很多,其中,磁控濺射法由于轟擊粒子能量高,成膜堅固、成膜條件和厚度易

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