用于下一代光伏的新型MEMS技術

【摘要】： 【關鍵詞】： 光伏產(chǎn)業(yè) 光刻膠 產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新 晶圓 技術轉(zhuǎn)移 硅太陽能電池 制造技術 納米壓印 制造過程 半導體器件
【分類號】：F416.6
【正文快照】： 雖然光伏技術與微機電系統(tǒng)(MEMS)非常不同,但兩個產(chǎn)業(yè)卻年齡相仿,并都處在將進入批量生產(chǎn)的階段。新一代高效率太陽能電池需要創(chuàng)新性制造技術的支持,以大幅度降低生產(chǎn)成本。MEMS產(chǎn)業(yè)的供應商在過去的幾年里經(jīng)歷了嚴峻的挑戰(zhàn),為減少這些設備的生產(chǎn)成本而推出創(chuàng)新,繼爾引發(fā)了技

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