SEMI發(fā)布光伏硅原料標準SEMI PV17-0611

【摘要】：正SEMI(國際半導體設備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會)于7月12日發(fā)布了一項用于光伏(PV)制造的硅原料新標準SEMI PV17-0611。該標準涉及到利用多種工藝方法生產(chǎn)的多晶硅材料詳細規(guī)范,包括化學氣相沉積(CVD)法、冶金還原法和其他工藝方法。CVD工藝中包括了所謂的"西門子法"、流化床法、粉末法和其它使用蒸餾硅烷或鹵化硅混合物的方 【關鍵詞】： 光伏 工藝方法 化學氣相沉積 硅材料 新標準 原料 西門子法 產(chǎn)業(yè)協(xié)會 詳細規(guī)范 設備材料
【分類號】：TN304.12
【正文快照】： SEMI(國際半導體設備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會)于7月12日發(fā)布了一項用于光伏(PV)制造的硅原料新標準SEMI PV17-0611。該標準涉及到利用多種工藝方法生產(chǎn)的多晶硅材料詳細規(guī)范,包括化學氣相沉積(CVD)法、冶金還原法和其他工藝方法。CVD工藝中包括了所謂的“西門子法”、流化床法、粉末法和

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