機器人在光伏擴散工序上下料中的應(yīng)用

【摘要】：通過分析光伏生產(chǎn)線上下料的現(xiàn)狀,指出擴散工序上下料的難度,以及擴散工序上下料的必要性。本文主要介紹了擴散工序上下料設(shè)備的主要結(jié)構(gòu)設(shè)計,包括籃具校正系統(tǒng)、機器人吸取片系統(tǒng)、硅片校正系統(tǒng)、石英舟系統(tǒng)組成、電氣控制系統(tǒng)等,并分析了關(guān)鍵技術(shù)及解決方法。 【作者單位】： 中國電子科技集團公司第二研究所;
【關(guān)鍵詞】： 光伏 擴散 上下料
【分類號】：TP242
【正文快照】： 1光伏上下料的背景近年來,隨著人力成本的提高及廠家對產(chǎn)品質(zhì)量的重視,光伏生產(chǎn)線配套自動化上下料設(shè)備有了巨大的需求。目前,在制絨、刻蝕系統(tǒng)上下料系統(tǒng)在國內(nèi)光伏廠家得到了廣泛應(yīng)用。但在擴散工序,目前大多數(shù)國內(nèi)廠家仍選擇人工上下料。因為擴散工序本身有一定的特殊性,

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