淺談太陽能晶硅電池生產(chǎn)過程中的擴散工藝

【摘要】：太陽能晶硅電池主要是以單/多晶硅片為原材料,利用光伏效應將太陽能轉(zhuǎn)化為電能。在電池片的生產(chǎn)過程中,擴散制PN結是最核心的工序。擴散工藝對電池的性能有著重要影響。文章從工廠生產(chǎn)的角度,結合工藝及設備使用情況,淺談擴散工藝的技術特點。 【作者單位】： 西安黃河光伏科技股份有限公司;
【關鍵詞】： 晶硅電池 擴散制結 工藝
【分類號】：TM914.41
【正文快照】： 1擴散在傳統(tǒng)電池生產(chǎn)中的工藝步驟原材料硅片來料檢驗——清洗制絨——擴散制結——干法刻蝕洗磷(或濕法刻蝕)——PECVD鍍膜——絲網(wǎng)印刷——燒結——測試分選——電池片成品包裝。2擴散的原理及POCl3制PN結物質(zhì)分子因濃度梯度而進行分子轉(zhuǎn)移是擴散的基本原理;在工廠的晶硅電

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