清洗工藝對金屬輔助刻蝕制備黑硅及其光伏器件的影響

【摘要】：為了減少黑硅表面缺陷對黑硅太陽電池性能的影響,本文以金屬納米顆粒輔助刻蝕制備的156 mm×156 mm多晶黑硅為研究對象,分別采用傳統(tǒng)RCA清洗工藝中SC1清洗方法及其改進方法清洗黑硅,并通過SEM、少子壽命、IV、QE等手段表征黑硅微觀結構及其光伏器件電性能。結果表明:改進清洗方法比SC1具有更好的清洗效果,能夠有效去除黑硅中的金屬殘留,同時修正黑硅表面微結構,黑硅的少子壽命由1.98μs提高到3.09μs。對于156mm×156mm多晶黑硅太陽電池,改進方法清洗的黑硅電池比SC1方法清洗黑硅太陽電池短路電流提升62m A,平均轉化效率提升了0.16%,達18.01%。 【作者單位】： 江蘇輝倫太陽能科技有限公司新能源研究中心;南京航空航天大學材料科學與技術學院;
【關鍵詞】： 黑硅 清洗工藝 少子壽命 太陽電池
【基金】：中小企業(yè)發(fā)展專項資金(SQ2013ZOC100014)
【分類號】：TM914.4
【正文快照】： (Received 21 August 2015,accepted 30 September 2015)1引言在晶硅表面進行織構化處理形成具有納米結構的黑硅,可極大的提升硅表面的光吸收率,從而提高晶硅太陽電池的轉換效率,這使黑硅的制備技術及相關研究受到了廣泛的關注[1,2]。目前,人們己經開發(fā)出多種黑硅制備技術如飛

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